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龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺(tái) 詳細(xì)摘要： 龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺(tái)Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導(dǎo)軌基體材料，采用線性放大器和無(wú)鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，高精度光柵尺或激光干涉儀作為...
產(chǎn)品型號(hào)： 所在地：蘇州市 更新時(shí)間：2019-11-09 參考價(jià)：¥ 500 在線留言
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詳細(xì)摘要： 龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺(tái)Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導(dǎo)軌基體材料，采用線性放大器和無(wú)鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，高精度光柵尺或激光干涉儀作為...
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