龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺

Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導軌基體材料，采用線性放大器和無鐵芯直線電機作為驅動，高精度光柵尺或激光干涉儀作為反饋系統(tǒng)，配有主動隔震系統(tǒng)，在*的高級控制算法控制下，能夠提供高級別的動態(tài)性能和超精密定位精度。

龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺詳細介紹

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