日本filmetrics顯微自動膜厚測量系統(tǒng)F54F54顯微自動膜厚測量系統(tǒng)是將微小區(qū)域內(nèi)的高精度膜厚/光學常數(shù)分析功能與自動高速載物臺相結(jié)合的系統(tǒng)。兼容2英寸到450毫米的硅基板，它可以以的速度在點測量薄膜厚度和折射率