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日本filmetrics顯微自動膜厚測量系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱武漢市艾德寶儀器設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地武漢市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/7/14 13:23:32
  • 訪問次數(shù)2
產(chǎn)品標簽:

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武漢市艾德寶儀器設備有限公司是專業(yè)從事實驗分析儀器、教學儀器、光學儀器、試驗機、恒溫恒溫箱;環(huán)境監(jiān)測;氣體檢測儀、環(huán)保儀器、分析儀器、水利水文氣象監(jiān)測設備、土木工程儀器、代理德國萊寶、德國普發(fā)、德國德圖、 公司在多年創(chuàng)業(yè)過程中,建立了高素質、高效率、經(jīng)驗豐富的研發(fā)團隊和管理人才。以科技為先導,始終瞄準、國內(nèi)市場這一大方向,不斷引進、吸收、研發(fā)、創(chuàng)新、開發(fā)了外觀新穎、品質優(yōu)良的數(shù)字儀器儀表。 目前,勝利儀器產(chǎn)品的營銷網(wǎng)絡遍布所有省、市、自治區(qū),各大中城市均設有特約經(jīng)銷商、網(wǎng)點和辦事處。產(chǎn)品遠銷多個國家和地區(qū)。 公司的質量方針:開拓創(chuàng)新,精益求精,精細管理,優(yōu)質服務。 公司的品質承諾:滿足顧客目前和未來對產(chǎn)品品質的要求,符合ISO9001質量管理體系的標準。 公司的經(jīng)營理念:艾德寶在長期拚搏中精誠團結,不屈不撓,持之以恒取得了驕人的業(yè)績,同時確立精品意識,保持技術,服務工業(yè)科技,為中國電子儀器儀表工業(yè)發(fā)展再創(chuàng)輝煌?!? 公司的服務宗旨;想客戶所想,急客戶所急,供客戶所需,以更加*的技術品質和真誠的服務回報用戶!
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日本filmetrics顯微自動膜厚測量系統(tǒng)F54F54顯微自動膜厚測量系統(tǒng)是將微小區(qū)域內(nèi)的高精度膜厚/光學常數(shù)分析功能與自動高速載物臺相結合的系統(tǒng)。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板,它可以以的速度在點測量薄膜厚度和折射率。
日本filmetrics顯微自動膜厚測量系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

日本filmetrics顯微自動膜厚測量系統(tǒng)F54

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F54顯微自動膜厚測量系統(tǒng)是將微小區(qū)域內(nèi)的高精度膜厚/光學常數(shù)分析功能與自動高速載物臺相結合的系統(tǒng)。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板,它可以以的速度在點測量薄膜厚度和折射率。
兼容5x至50x物鏡,測量光斑直徑可根據(jù)應用選擇1μm至100μm。

主要應用

半導體平板

抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅、拋光硅片、化合物半導體、?T襯底等。
有機膜、聚酰亞胺、ITO、單元間隙等

產(chǎn)品陣容

模型

F54-UV

F54

F54-近紅外

F54-EXR

F54-UVX

測量波長范圍

膜厚測量范圍

5倍

10倍

15倍

50倍

100倍

準確性*






190 – 1100nm

400 – 850nm

950 – 1700nm

400 – 1700nm

190 – 1700nm

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20nm-40μm

40nm – 120μm

20nm – 120μm

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20nm – 35μm

40nm – 70μm

20nm – 70μm

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4nm – 30μm

20nm-40μm

40nm – 100μm

20nm – 100μm

4nm – 100μm

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20nm – 2μm

40nm – 4μm

20nm – 4μm

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20nm – 1.5μm

40nm – 3μm

20nm – 3μm

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± 0.2% 薄膜厚度

± 0.4% 薄膜厚度

± 0.2% 薄膜厚度

1納米

2納米

3納米

2納米

1納米

測量示例

可以測量硅晶片上的氧化膜和抗蝕劑。




 

主要特點

 

  • 結合基于光學干涉原理的膜厚測量功能和自動高速載物臺的系統(tǒng)

  • 兼容5x到50x物鏡,測量光斑直徑可根據(jù)應用從1μm到100μm變化。

  • 兼容 2 英寸至 450 毫米的硅基板

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