龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺(tái)PlanarHDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導(dǎo)軌基體材料，采用線性放大器和無(wú)鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，高精度光柵尺或激光干涉儀作為反饋系統(tǒng)，配有主動(dòng)隔震系統(tǒng)，在*的高級(jí)控制算法控制下