瑞士Sawatec ispay-300 噴膠機(jī)
針對具備高度結(jié)構(gòu)化晶圓形貌、深度 MEMS 結(jié)構(gòu)或不平整表面特征的基板，SAWATEC 公司的 iSPRAY 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機(jī)，適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實(shí)驗(yàn)室，尤其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。
經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結(jié)合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如 Shipley1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成精細(xì)的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴嘴經(jīng)由“弓”字型行進(jìn)路徑進(jìn)行噴涂，由此可以確保整個基板表面上均勻的噴涂效果以及高度可再現(xiàn)性。該設(shè)備可用于圓形或正方形基板，多可同時噴涂 4 個晶基
功能（基本配置）
?？删幊?，多 50 個程序(各包含 24 個程序段)
。適用于重復(fù)工藝的快速啟動功能
。觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置
。工藝參數(shù)：噴嘴行進(jìn)路徑，噴灑臂速度，噴灑時間，錐形束形狀電氣驅(qū)動的噴灑臂，其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選
?？烧{(diào)整的噴嘴，具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能
。手動裝卸基板
。工藝結(jié)束時的聲音信號
瑞士Sawatec ispay-300 噴膠機(jī)
