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低能耗半導(dǎo)體功率器件廢水處理

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蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

低能耗半導(dǎo)體功率器件廢水處理

詳細(xì)介紹

低能耗半導(dǎo)體功率器件廢水處理



一、廢水項(xiàng)目概述

某功率半導(dǎo)體有限公司主要產(chǎn)生如下：含氟清洗廢水、研磨清洗廢水、有機(jī)廢水（因產(chǎn)水量較少，濃度高，委托第三方處置單位處置）、酸堿廢水，廢水性質(zhì)主要為清洗廢水，濃度較低，容易處理。廢水經(jīng)過(guò)系統(tǒng)處理后達(dá)到國(guó)家污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和納管排放。



二、廢水設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)范及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

本污水處理項(xiàng)目的設(shè)計(jì)，施工與安裝嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家的專(zhuān)業(yè)技術(shù)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)，其主要規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)如下：

●《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》	GB8978-1996

●《鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》	GB50017－2017

●《固定式鋼梯和平臺(tái)要求》	GB 4053—2009

●《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》	GB50231-2009

●《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接施工及驗(yàn)收規(guī)范》	GB50236-2011

●《電力裝置的繼電保護(hù)和自動(dòng)裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》	GBT50062-2008

●《電氣裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范》	GB-50254-96

●《分散型控制系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范》	HGT-20573-2012

●《工業(yè)與民用供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》	GB-50052-2009

●《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》	GB50054-2011

● 客戶(hù)提供的環(huán)評(píng)資料



三、廢水水質(zhì)和水量情況

該廠(chǎng)區(qū)主要廢水生產(chǎn)廢水來(lái)源于以下：

3.1、含氟清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況
處理工藝	項(xiàng)目	水量(t/a)	pH	COD（mg/l）	SS（mg/l）	F-（mg/l）	氯化物（mg/l）
一級(jí)反應(yīng)沉淀池	進(jìn)水	11520	3-4	50	25	300	30
	出水	11520	4-5	40	17.5	60	30
	去除效率%	-	/	20	30	80	/
二級(jí)反應(yīng)沉淀池	進(jìn)水	11520	4-5	40	17.5	60	30
	出水	11520	5-6	32	7	12	30
	去除效率%	-	/	20	60	80	/
pH調(diào)節(jié)池	進(jìn)水	11520	5-6	32	7	12	30
pH調(diào)節(jié)池	出水	11520	6-9	32	7	12	30

3.2、研磨清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況
處理工藝	項(xiàng)目	水量(t/a)	pH	COD（mg/l）	SS（mg/l）
反應(yīng)沉淀	進(jìn)水	3840	6-9	100	800
	出水	3840	7-10	100	200
	去除效率%	-	/	0	75
pH調(diào)節(jié)池	進(jìn)水	3840	7-10	100	200
pH調(diào)節(jié)池	出水	3840	6-9	100	200

3.3、含有機(jī)物清洗廢水

有機(jī)清洗廢水排放量較少，僅為144m³/a，經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)收集后委托有資質(zhì)單位處理處置。

3.4、酸堿廢水及處理單元預(yù)估出水情況

處理工藝

項(xiàng)目

水量(t/d)

COD

氨氮

總氮

總磷

硫酸鹽

氯化物

一級(jí)反應(yīng)沉淀

進(jìn)水

77220

4-7

200

800

出水

77220

5-8

400

去除效率%

二級(jí)中和

進(jìn)水

77220

5-8

400

出水

77220

6-9

400

去除效率%

pH調(diào)節(jié)池

進(jìn)水

77220

6-9

400

出水

77220

6-9

400

經(jīng)詳細(xì)了解，該廢水主要污染物為PH、SS值，廢水性質(zhì)簡(jiǎn)單，水質(zhì)較穩(wěn)定，未見(jiàn)明顯復(fù)雜成分。經(jīng)過(guò)化學(xué)調(diào)整PH和混凝沉淀后，可以保證達(dá)標(biāo)。

四、處理出水指標(biāo)

該生產(chǎn)清洗廢水經(jīng)處理后排放，參考標(biāo)準(zhǔn)為《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996標(biāo)準(zhǔn)，具體監(jiān)測(cè)因子及水質(zhì)指標(biāo)見(jiàn)下表。

污水排放標(biāo)準(zhǔn) 單位：mg/L （pH值除外）
污染物名稱(chēng)	水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)限值	標(biāo)準(zhǔn)來(lái)源
pH	6～9	《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 GB8978-1996級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
BOD₅	300
COD	500
SS	400
NH₃-H	25
動(dòng)植物油	10
石油類(lèi)	20
磷酸鹽（以p計(jì)）	5
總氮	/
氨氮	25
氟化物	20


五、	清洗廢水處理工藝

5.1	工藝流程圖



5.2	前處理清洗廢水處理工藝方案的選擇與確定

5.2.1	含氟廢水工藝說(shuō)明

	含氟清洗廢水進(jìn)入含氟清洗廢水收集池后，經(jīng)過(guò)PH調(diào)整、并添加氯化鈣(CaCl₂)產(chǎn)生無(wú)害的氟化鈣(CaF₂)沉淀，經(jīng)投加混凝劑(PAC)、絮凝劑(PAM)進(jìn)行混凝沉降，總除氟效率達(dá)到96%以上。含氟廢水采用氯化鈣作沉淀劑處理工藝，為成熟可靠工藝。

5.2.2	研磨廢水處理工藝說(shuō)明

	研磨清洗廢水進(jìn)入研磨廢水收集池均質(zhì)后，通過(guò)提升泵提升，調(diào)整pH值后加入PAC，PAM充分反應(yīng)后，進(jìn)入斜管沉淀池，總除SS效率達(dá)到90%，處理后廢水經(jīng)pH調(diào)節(jié)槽進(jìn)入排放系統(tǒng)，產(chǎn)生的污泥進(jìn)入污泥槽，經(jīng)污泥脫水形成泥餅，外運(yùn)。

5.2.3	酸堿廢水處理工藝說(shuō)明

	一般酸堿廢水采用酸堿中和法處理，酸堿廢水經(jīng)管道收集后流入廢水處理站的酸堿廢水收集池；依次進(jìn)入PH調(diào)整池，PH調(diào)整池中設(shè)計(jì)PH在線(xiàn)檢測(cè)儀，根據(jù)PH情況，添加堿液后，再投加一定量的PAC和PAM絮凝劑后，進(jìn)入沉淀池，防止SS值超標(biāo)。經(jīng)沉淀后的廢水進(jìn)入pH調(diào)節(jié)槽，經(jīng)檢測(cè)合格后（pH值達(dá)到6~9范圍內(nèi)）排入公司生產(chǎn)廢水排水管道。