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產(chǎn)品介紹：
KJ-V1200是一種立式流化床管式爐，專為固體氣相沉積的CVD實(shí)驗(yàn)而設(shè)計(jì)。爐管為高純石英異形，爐管內(nèi)嵌有石英網(wǎng)固定。粉末 2 從管頂部進(jìn)料到該篩網(wǎng)上。另一個(gè)網(wǎng)片固定在活動(dòng)法蘭架部分上。然后通入氮?dú)夂鸵胰?，將粉體1氣體吹過上面的網(wǎng)孔，到達(dá)涂層反應(yīng)區(qū)，將粉體2顆粒吹入反應(yīng)區(qū)進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

立式管式爐部分
名稱	立式流化床管式爐
型號	KJ-V1200-L2
加熱區(qū)長度	300+300mm, 兩溫區(qū)
爐管尺寸	Φ50*1200mm
管材質(zhì)	內(nèi)置5-20um網(wǎng)孔的高純石英管（定制）
工作溫度	≦1100℃
溫度	1200℃
熱電偶	K 型
溫度控制系統(tǒng)	通過可控硅功率控制和自動(dòng)調(diào)諧功能實(shí)現(xiàn)智能30段PID自動(dòng)控制。內(nèi)置過熱和斷熱電偶保護(hù)。
溫度控制精度	±1℃
升溫速率	0-20ºC/分鐘
加熱元件	鉬摻電阻絲鐵鉻鋁合金
工作電壓	220V, 50Hz, 單相
功率	6KW
腔體材料	陶瓷纖維
真空法蘭	帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭
真空泵	旋片真空泵
氣路	用于氮?dú)夂鸵胰驳膬陕犯∽恿髁坑?jì)，可調(diào)節(jié)氣體流量以使材料流化。流量范圍：0-1L/min。

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