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ARI7000系列也是多種型號(hào)供不同參數(shù)選擇。滿(mǎn)足更多使用者的需求。
特點(diǎn)
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產(chǎn)品型號(hào)ARI7000
品 牌其他品牌
廠(chǎng)商性質(zhì)代理商
所 在 地成都市
聯(lián)系方式：羅林查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-07-17 11:38:06瀏覽次數(shù)：22次
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ARI7000系列也是多種型號(hào)供不同參數(shù)選擇。滿(mǎn)足更多使用者的需求。
特點(diǎn)
液體 & 前體用 MFC
快速響應(yīng)時(shí)間:<3Sec
高精度: ≤1% of F.S
高重復(fù)性: ≤±1% of F.S
耐腐蝕性強(qiáng): 電拋光<0.1um RA
通訊: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | ARI 7000 | ||||
| 流量范圍(g/min , IPA 等效) | 0.5 to 1g/min | ||||
| 精確度 | ≤±1% of F.S. | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤3秒（≤SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||||
| 重復(fù)時(shí)間 | ≤±1%滿(mǎn)量程 | ||||
| 溫度系數(shù) | ±0.2%滿(mǎn)量程/℃ | ||||
| 表面潤(rùn)濕材料 | STS316L & Electro-Polished(<0.1um RA), PTFE | ||||
| 泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
| 工作溫度范圍 | 5 to 55 ℃ (Recommended : 25~50?C) | ||||
| 入口壓力 | 500 kPa(G) | ||||
| 工作壓差 | ≥200 kPa(D) | ||||
| 通訊 | D-Net | ||||
| 電源/功耗 | +14~30VDC, 3.5W max | ||||
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