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工作溫度	100-300℃	工作壓力	0.2MPa
過(guò)濾精度	0.1-30um	濾料類型	纖維
適用對(duì)象	空氣	適用對(duì)象性質(zhì)	其他
適用范圍	冶金,紡織,制藥,電鍍	適用粘度	10pas
外形尺寸	100-300mm	性能	高效過(guò)濾
樣式	筒式	用途	空氣過(guò)濾
有效過(guò)濾面積	標(biāo)準(zhǔn)	原理	加壓過(guò)濾
重量	10kg	不銹鋼骨架	進(jìn)口玻璃纖維

LED外延空氣過(guò)濾器濾芯技術(shù)，在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽(yáng)能電池等多個(gè)領(lǐng)域都有應(yīng)用?，F(xiàn)有MOCVD設(shè)備

的成本非常高，且*依賴進(jìn)口，進(jìn)行MOCVD設(shè)備研究對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源

領(lǐng)域以及國(guó)防技術(shù)的發(fā)展都很有必要。

MOCVD設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運(yùn)系統(tǒng)以

及整體控制系統(tǒng)。本文重點(diǎn)研究了氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難

點(diǎn)，并對(duì)該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點(diǎn)。

氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng)，

并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進(jìn)行尾氣處理。氣體輸運(yùn)包括源供給系統(tǒng)，

反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜，而且避免MO源的壁面沉積

)對(duì)氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃?；诎踩紤]，設(shè)備需

要定期進(jìn)行泄漏檢查。

由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆，雨其中的氫化物源又，因此，必須對(duì)反應(yīng)過(guò)后的尾氣進(jìn)行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過(guò)微粒過(guò)濾器去除其中的微粒

生產(chǎn)VEECO以及AIXTRON公司MOCVD設(shè)備尾氣處理用顆粒過(guò)濾器，從原材料到成品層層把關(guān)，從而提升產(chǎn)品的質(zhì)量。美國(guó)進(jìn)口濾材過(guò)濾器的使用壽命以及對(duì)于后端真空泵及管路的清潔，而且在高溫環(huán)境下可長(zhǎng)期使用，不會(huì)產(chǎn)生燃燒等意外。

生產(chǎn)供應(yīng)美國(guó)VEECO，德國(guó)AIXTRON公司各型號(hào)MOCVD設(shè)備用過(guò)濾器，型號(hào)，質(zhì)量，可有效過(guò)濾精度及效率，從而達(dá)到保護(hù)設(shè)備以及環(huán)保的雙重目的

AIXTRON HEPA 濾芯，AIXTRON exhaust 濾芯，AIXTRON particle 濾芯，Thomas Swan濾芯，供應(yīng)的VEECO公司MOCVD設(shè)備K-465，K465i，E-300 機(jī)型的濾芯，光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯外延設(shè)備濾芯纖維折疊濾芯。LED設(shè)備用各類過(guò)濾器，型號(hào)，質(zhì)量，可有效保護(hù)設(shè)備安全。

采用304不銹鋼材質(zhì)、進(jìn)口玻璃纖維，耐高溫性好，抗酸堿。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1. 價(jià)格優(yōu)勢(shì)

2. 的過(guò)濾雜質(zhì)能力，過(guò)濾精度高，使用壽命長(zhǎng)。

3. 產(chǎn)品性能優(yōu)勢(shì)經(jīng)客戶驗(yàn)證和認(rèn)可

4. 可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)，訂做。（調(diào)整：尺寸，使用材料，整體構(gòu)造等）為客戶產(chǎn)品打造合適的濾芯，確保各種過(guò)濾要求，達(dá)到佳過(guò)濾效果。

光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯外延設(shè)備濾芯纖維折疊濾芯光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯外延設(shè)備濾芯纖維折疊濾芯光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯外延設(shè)備濾芯纖維折疊濾芯光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯外延設(shè)備濾芯纖維折疊濾芯

LED外延空氣過(guò)濾器濾芯

LED外延空氣過(guò)濾器濾芯技術(shù)，在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽(yáng)能電池等多個(gè)領(lǐng)域都有應(yīng)用。現(xiàn)有MOCVD設(shè)備

的成本非常高，且*依賴進(jìn)口，進(jìn)行MOCVD設(shè)備研究對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源

領(lǐng)域以及國(guó)防技術(shù)的發(fā)展都很有必要。

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的成本非常高，且*依賴進(jìn)口，進(jìn)行MOCVD設(shè)備研究對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源

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