MICRO-EPSILON德國(guó)米銥公司optoCONTROL光幕千分尺系列產(chǎn)品利用了不同的陰影投射原理，除了使用CCD成像感光片技術(shù)結(jié)合激光和LED光源外，還應(yīng)用了光照能量感光片的測(cè)量原理。optoCONTROL光幕千分尺由光源和接收器（CCD感光片）組成，光源發(fā)射出一束持續(xù)的平行光幕準(zhǔn)確照射到接收器上，當(dāng)有被測(cè)物體阻隔時(shí)，接收器就可以感應(yīng)到陰影位置的變化，從而準(zhǔn)確測(cè)量被測(cè)物體的位置。光幕千分尺可以測(cè)量如直徑、間隙、位置、振幅及數(shù)量等多維幾何量。

optoCONTROL2600光幕千分尺傳感器 

LED高分辨率系列

線性量程    0.3 - 40 mm
誤差    ≤±3 µm（3σ）
分辨率       0.1 µm 
重復(fù)性       ± 1 µm
測(cè)量頻率    2.3 kHz （數(shù)字）
信號(hào)輸出    0-10 V / RS232 / RS422