詳細(xì)介紹
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)經(jīng)過特別優(yōu)化,具有大的空氣承載表面,提供*的剛度和負(fù)載能力,不僅具有極小的軸向和徑向運(yùn)動(dòng)誤差,還有小化的角擺誤差。平臺(tái)表面的綜合運(yùn)動(dòng)誤差明顯優(yōu)于其他結(jié)構(gòu)類型的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)由無齒槽無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),剛性耦合,沒有柔性環(huán)節(jié),沒有齒槽力矩引起的力矩波動(dòng),具有*的帶寬和超平滑的速度軌跡,特別適用于對(duì)低速穩(wěn)定性要求*的應(yīng)用。轉(zhuǎn)臺(tái)的反饋系統(tǒng)由高精度圓光柵構(gòu)成,通過電子細(xì)分技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)0.007角秒(arc sec)的機(jī)械分辨率(Minimum incremental step)和0.12角秒的定位精度(Accuracy,follow ISO230-2)。
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)參數(shù)