超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)經(jīng)過特別優(yōu)化，具有大的空氣承載表面，提供*的剛度和負(fù)載能力，不僅具有極小的軸向和徑向運(yùn)動(dòng)誤差，還有小化的角擺誤差。平臺(tái)表面的綜合運(yùn)動(dòng)誤差明顯優(yōu)于其他結(jié)構(gòu)類型的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)由無齒槽無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，剛性耦合，沒有柔性環(huán)節(jié)，沒有齒槽力矩引起的力矩波動(dòng)，具有*的帶寬和超平滑的速度軌跡，特別適用于對(duì)低速穩(wěn)定性要求*的應(yīng)用。轉(zhuǎn)臺(tái)的反饋系統(tǒng)由高精度圓光柵構(gòu)成，通過電子細(xì)分技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)0.007角秒（arc sec）的機(jī)械分辨率（Minimum incremental step）和0.12角秒的定位精度（Accuracy，follow ISO230-2）。
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)參數(shù)