臭氧氧化分解了細(xì)菌內(nèi)部葡萄糖所必須的酶；也可以直接與細(xì)菌、大腸桿菌病毒發(fā)生作用，破壞其細(xì)胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，可以滲透到胞膜組織，進(jìn)入細(xì)胞膜內(nèi)的內(nèi)部脂多糖于外膜脂蛋白發(fā)生反應(yīng)，使細(xì)菌的物質(zhì)發(fā)生通透性畸變，導(dǎo)致細(xì)胞的溶解死亡，并且將死亡菌體內(nèi)的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原（細(xì)菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）等溶解變性死亡。