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美國(guó)MKS真空計(jì)   MKS 925系列皮拉尼真空計(jì)

HPS系列的925 micropirani?傳感器是一種基于MEMS. 925 *的，基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器。925是用于真空壓力測(cè)量并提供模擬電壓輸出，數(shù)字接口和設(shè)定點(diǎn)繼電器.用于過(guò)程控制。

美國(guó)MKS真空計(jì)   MKS 925系列皮拉尼真空計(jì)優(yōu)勢(shì)：

?增加壓力測(cè)量范圍從10-5乇大氣，在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的皮拉尼

? Three set point relays for process control (option)

?三點(diǎn)繼電器用于過(guò)程控制（選項(xiàng)）

? Ultra compact design

?超緊湊的設(shè)計(jì)

? High accuracy for improved process control

?改進(jìn)過(guò)程控制的高精度

? Ease of operation via analog output and digital communication (RS232 or RS485)

通過(guò)模擬輸出和數(shù)字通信（RS232或RS485易于操作?）

? MicroPiraniTM solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration

?micropiranitm固態(tài)傳感器是從耐空氣侵入或振動(dòng)的損傷

? Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy

?安裝在任何方向，安裝方便；沒有損失的測(cè)量精度

? Optional display available for local pressure indication

?可選顯示可用的局部壓力指示

? Alternate analog output and electrical connectors available to match other vendors’

?交替的模擬輸出和電連接器可與其他廠商，方便容易升級(jí)

? CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC

?CE標(biāo)志，符合EMC指令2004／108／EEC

美國(guó)MKS真空計(jì)   MKS 925系列皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用：

925可以用在許多不同的真空應(yīng)用在半導(dǎo)體的分析，

and coating industries:

涂料行業(yè)：

? General vacuum pressure measurement

?一般真空壓力測(cè)量

? Foreline and roughing pressure measurement

?前級(jí)和粗壓力測(cè)量

? Gas backfilling measurement and control

?氣體充填的測(cè)量與控制

? Mass spectrometer control

?質(zhì)譜儀控制

? Activation of UHV gauges

?激活真空計(jì)

? System process control

?系統(tǒng)過(guò)程控制

? Control system pressure

?壓力控制系統(tǒng)

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