日立中型掃描電鏡通過自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型*4縮短了三分之一以下安裝有“SEMMAP"導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上觀察目標(biāo)位