與機(jī)械拋光不同，離子研磨系統(tǒng)處理樣品而不會(huì)變形或施加機(jī)械應(yīng)力。因此，用于預(yù)處理樣品的離子銑削系統(tǒng)的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大，不僅包括掃描電子顯微鏡（SEM），還包括原子力顯微鏡（SPM/AFM）等。離子銑削系統(tǒng)應(yīng)用范圍