氮氣烤箱也叫無塵無氧固化烤箱，半導(dǎo)體高溫烤箱應(yīng)用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)，經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器（100級）反復(fù)過濾，使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)