INFICON監(jiān)控器薄膜沉積監(jiān)控器SQM-160使用成熟的INFICON石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個記錄器輸出提供模擬速度和厚度信號。