中圖儀器CEM3000系列臺式能譜掃描電子顯微鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng)，讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率，滿足用戶觀測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
CEM3000系列臺式能譜掃描電子顯微鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環(huán)境設(shè)計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
應(yīng)用場景
材料科學(xué)：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢：錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機 | 導(dǎo)航相機 | 標(biāo)配高分辨彩色相機 |
側(cè)視相機 | 標(biāo)配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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