羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時(shí)，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。  
 
主要特點(diǎn)
1，節(jié)能高效
空氣懸浮離心鼓風(fēng)機(jī)使用了空氣軸承，直聯(lián)技術(shù)，高效葉輪，永磁無刷直流電機(jī)，無額外的摩擦。風(fēng)機(jī)根據(jù)輸出的（風(fēng)量可調(diào)范圍40-*）自動調(diào)整電機(jī)功率的消耗，保持設(shè)備運(yùn)行的高效率。
2，無振動，低噪音
采用空氣軸承及直聯(lián)技術(shù)，無振動產(chǎn)生，風(fēng)機(jī)不需要設(shè)置隔音裝置；設(shè)備重量輕，不需設(shè)置特別基礎(chǔ)，安裝布置簡單靈活。
3，無潤滑油
風(fēng)機(jī)采用了空氣軸承技術(shù)，系統(tǒng)不需要潤滑油系統(tǒng)，向電子，醫(yī)藥，食品等特殊行業(yè)提供干凈的空氣?？諝廨S承使用溫度達(dá)到600度，油性軸承系統(tǒng)的所有弊端已成功解決。
4，無保養(yǎng)
沒有傳統(tǒng)風(fēng)機(jī)所必需齒輪箱及油性軸承，我們所采用的一系列*葉輪與電機(jī)不使用聯(lián)軸器，直接連接，智能控制系統(tǒng)，關(guān)鍵部件采用AL7075（航空鋁材）這些技術(shù)保證了設(shè)備是無保養(yǎng)的，降低了用戶的維護(hù)成本，提高供氣系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性。
5，運(yùn)轉(zhuǎn)控制便利
可在個人電腦上對風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)，壓力，溫度，流量等進(jìn)行自檢并定壓運(yùn)轉(zhuǎn)，負(fù)荷/無負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，超負(fù)荷控制，通過防喘振控制等實(shí)現(xiàn)無人操作。風(fēng)機(jī)通過調(diào)整葉輪的轉(zhuǎn)數(shù)調(diào)節(jié)流量。根據(jù)吸入空氣的溫度和壓力變化，調(diào)整轉(zhuǎn)數(shù)可以輕易的調(diào)節(jié)流量?？梢宰詣雍褪謩诱{(diào)整流量。
6，設(shè)備安裝空間小
空氣懸浮離心鼓風(fēng)機(jī)設(shè)備重量輕，設(shè)備尺寸小，安裝簡便，可以大量地節(jié)省用戶的建筑及輔助電氣控制系統(tǒng)投資。
空氣懸浮鼓風(fēng)機(jī)葉輪主要特點(diǎn)
空氣懸浮鼓風(fēng)機(jī)單級離心式葉輪
葉輪可選用AL7075（高強(qiáng)度航空鋁材）、Ti、SUS等材質(zhì)，具有優(yōu)秀的耐磨、抗變形能力，使用壽命達(dá)30年以上。葉輪與電動機(jī)采用直聯(lián)方式連接，動力傳遞效率為97%。根據(jù)不同需要進(jìn)行葉輪鑄造，可以得到特定需要的工況范圍。設(shè)計(jì)采用變頻調(diào)節(jié)方式而摒棄了導(dǎo)葉片調(diào)節(jié)方式，使鼓風(fēng)機(jī)的可調(diào)節(jié)范圍更寬。
無油空氣懸浮軸承
空氣懸浮軸承主要包括徑向軸承以及止推軸承等部件。啟動前回轉(zhuǎn)軸和軸承之間有物理性的接觸，啟動時(shí)回轉(zhuǎn)軸和軸承相對運(yùn)動，以形成流體動力場，在徑向軸承內(nèi)此流體動力形成浮揚(yáng)力。該浮揚(yáng)力使回轉(zhuǎn)軸處于懸浮狀態(tài)而達(dá)到回轉(zhuǎn)自如的目的。這種軸承與傳統(tǒng)的滾珠軸承不同，運(yùn)行時(shí)回轉(zhuǎn)軸和軸承之間沒有物理接觸點(diǎn)，所以無需潤滑油，能量損耗極低，效率*，適用于多種工作環(huán)境。這種技術(shù)可以應(yīng)用于轉(zhuǎn)速高達(dá)100,000 rpm的大功率高轉(zhuǎn)速機(jī)械。經(jīng)過嚴(yán)格測試，表明該軸承的啟動次數(shù)可達(dá)到20,000次以上，*符合設(shè)計(jì)以及實(shí)際應(yīng)用要求。
超高速調(diào)頻電機(jī)