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影像測(cè)量?jī)x

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)上海騰宏毅實(shí)業(yè)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)VMR-Z120X
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間2015/6/25 14:05:41
  • 訪問(wèn)次數(shù)629
產(chǎn)品標(biāo)簽:

影像測(cè)影儀

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晶圓清洗機(jī)
1.發(fā)的Z高倍率機(jī)型 vmr-z120x
藉由轉(zhuǎn)換2組物鏡而獲得寬廣的倍率,范圍從 1 倍到 120 倍。使用上結(jié)合 8 段的變焦倍率后,使其應(yīng)用從低倍率時(shí)寬廣視野觀測(cè)到小於 1um 的細(xì)微線寬量測(cè),都有Z佳的倍率選擇。
2.物鏡-大視野與高解析 (n. a. 0.55 )
結(jié)合2種物鏡后的應(yīng)用范圍更加寬廣,從低倍率時(shí)大視野的觀察到高倍率時(shí)的精密測(cè)量都能使用。
影像測(cè)量?jī)x 產(chǎn)品信息

VMR-Z120X 高倍率系列 ( 微機(jī)電 )

可變倍率高達(dá) 120 倍,針對(duì)需要較高精密度和高光學(xué)密度的應(yīng)用領(lǐng)域

 

 

 

 

 

 

 

1.發(fā)的zui高倍率機(jī)型 vmr-z120x
藉由轉(zhuǎn)換2組物鏡而獲得寬廣的倍率,范圍從 1 倍到 120 倍。使用上結(jié)合 8 段的變焦倍率后,使其應(yīng)用從低倍率時(shí)寬廣視野觀測(cè)到小於 1um 的細(xì)微線寬量測(cè),都有*的倍率選擇。 

2.物鏡-大視野與高解析 (n. a. 0.55 )
結(jié)合2種物鏡后的應(yīng)用范圍更加寬廣,從低倍率時(shí)大視野的觀察到高倍率時(shí)的精密測(cè)量都能使用。
 
倍率 - 視野表 (mm)
光學(xué)倍率
綜合倍率 
視野
1X
36X
4.67x3.5
2X
72X
2.33x1.75
4X
144X
1.165x0.875
7.5X
270X
0.622x0.467
光學(xué)倍率
綜合倍率 
視野
16X
576X
0.291x0.218
32X
1146X
0.146x0.109
64X
2292X
0.073x0.065
120X
4320X
0.039x0.029

* 以上的倍率顯示為 SXGA(1280*1024) 模式于 17" 液晶熒幕上所呈現(xiàn)出來(lái)的結(jié)果

3.機(jī)種型
組藉由提供 3 種 cnc 控制的光源類(lèi)型給予*的照射-表面光、輪廓光(高倍率光學(xué)頭)和暗視野;使得邊緣的偵測(cè)擁有高精確度。


規(guī)格諸元表

機(jī)型
VMR-1515 Z120X
VMR-3020 Z120X
VMR-6555 Z120X
VMR-10080 Z120X
VMR-12072 Z120X
行程 (XxYxZ) mm
150 × 150 × 150
300 × 200 × 150
650 × 550 × 150
1000 × 800 × 150
1200 × 720 × 150
zui小讀值
0.1 μm
zui大承重
20kg
20kg
30kg
40kg
40kg
量測(cè)精度
U 1X U 1Y
1.5+ 4L /1000 μm
1.5+ 4L /1000 μm
1.5+ 2.5L /1000 μm
2+ 4L /1000 μm
2.2+ 4L /1000 μm
U 2XY
2.5+ 4L /1000 μm
2.5+ 4L /1000 μm
2.5+ 2.5L /1000 μm
3+ 4L /1000 μm
3.2+ 4L /1000 μm
Z Axis
1.5+ L/150 μm
攝影機(jī)
B & W 1/3"CCD(progresssive) ; Color 1/3"CCD
工作距離
高倍
9.8 mm
低倍
32 mm
倍率視野
1X -- 4.67 × 3.5 mm / 120X -- 0.039 × 0.029 mm
自動(dòng)對(duì)焦方式
TTL 雷射對(duì)焦和影像對(duì)焦
光源種類(lèi)
底部光 ( 高倍光學(xué)頭 ) 、表面光、暗視野
電源
AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
電力消耗
Max. 13A
Max. 15A
外觀尺寸與重量 (W x H)mm
僅主體 
512 × 703 × 1200 約 180kg
625 × 728 × 1195 約 200kg
N.A.
主體與防震桌
690 × 730 × 1725 約 220kg
690 × 730 × 1725 約 240kg
1220 × 1680 × 1750 約 600kg
1530 × 2200 × 1750 約 1500kg
1734 × 2200 × 1750 約 1600kg
控制箱
250 × 550 × 500 約 31kg
接地尺寸 (W x D) mm
2100 × 1100
2100 × 1100
2400 × 2000
2800 × 2500
3000 × 2500

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