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掃描電鏡簡(jiǎn)單操作流程

來(lái)源:深圳市善時(shí)儀器有限公司   2025年07月04日 14:48   9


一、樣品裝載和開(kāi)機(jī):
1、樣品制作、安裝。(根據(jù)樣品導(dǎo)電性強(qiáng)弱來(lái)判定是否鍍膜)
2、打開(kāi)電腦、顯示器及電鏡電源。
3、替換樣品臺(tái),按Exchange 鍵,抽真空。(換樣前若樣品室有真空,需提前釋放。)
4、開(kāi)軟件,雙擊桌面的SENSE-SEM圖標(biāo),等待軟件運(yùn)行。

 

SS-150掃描電鏡


二、測(cè)試:
1~11為整個(gè)測(cè)試的操作流程,14為練習(xí)內(nèi)容,可以比較樣品臺(tái)高度Z不同,電鏡測(cè)出圖片效果。Z,圖片景深好。Z比點(diǎn)高,圖片清晰度好。
1、調(diào)樣品臺(tái)高度,Z軸調(diào)點(diǎn)位置 ,最小值-22.0(大約)?!緦?shí)際測(cè)樣中樣品臺(tái)高度要根據(jù)樣品情況來(lái)調(diào)整】
2、選合適加速電壓、探測(cè)器類型及高真空模式后,點(diǎn)擊“start”開(kāi)始調(diào)試。
3、放大畫(huà)面前實(shí)時(shí)圖像若為白色,向右調(diào)節(jié)聚光透鏡電流CL1。(CL2為最右端)。
4、Collector-CLT收集器、Amplifier-PMT放大器,一般調(diào)。
5、在實(shí)時(shí)圖像模式調(diào)粗聚焦,Z為-22.0(自動(dòng)平臺(tái)控制盒有顯示)時(shí),W/D調(diào)為20(不同機(jī)型,W/D值有所差異),圖像會(huì)清晰。Z固定一個(gè)高度時(shí),W/D只需調(diào)一次。
6、移動(dòng)樣品臺(tái)位置,調(diào)X/Y軸和Beam shift光束位移使樣品測(cè)試部位在畫(huà)面中間。
7、打開(kāi)wobble功能,旋轉(zhuǎn)光闌桿X/Y軸,使光闌孔對(duì)齊,圖像不晃動(dòng)。(SS-60無(wú)此步驟)
8、調(diào)微聚焦,畫(huà)面清晰。放大需要的倍數(shù),重復(fù)調(diào)微聚焦。
9、調(diào)Stigmation消像散,X、Y值±20%,重復(fù)調(diào)微聚焦,圖像會(huì)更
清晰。(圖片放大倍數(shù)小于3千-5千倍,可不用調(diào)Stigmation。)
10、適當(dāng)調(diào)整Contrast對(duì)比度和 Brightness亮度。
11、Photo Mode3掃描,存儲(chǔ)圖片。
12、如需測(cè)試樣品其它部位,縮小倍數(shù),重復(fù)上述6~11步驟。
13、如需測(cè)試其它樣品,先點(diǎn)擊軟件“stop”按鈕,待顯示出start,按設(shè)備上的Exchange鍵,釋放真空,之后更換樣品,再按Exchange 鍵,抽真空,重復(fù)以上1~11步驟。
14、改變樣品臺(tái)高度,Z軸-12,W/D調(diào)為5,圖像會(huì)清晰。再重復(fù)上述6~11步驟。


三、關(guān)機(jī):
1、點(diǎn)擊軟件“stop”按鈕,停止采集圖像,再關(guān)軟件退出。
2、只關(guān)電鏡電源,不要釋放真空。(樣品室真空狀態(tài),可保護(hù)鎢絲不被大氣氧化)
3、如果不用電腦,可以關(guān)閉電腦。
注意:
1、sense軟件打開(kāi)前,電鏡電源需開(kāi)啟,SEM-PC電纜連接良好,否則會(huì)提示報(bào)錯(cuò)。
2、如果在第二步的2中,點(diǎn)擊“start”前,真空需抽完,否則點(diǎn)擊“start”無(wú)反應(yīng);點(diǎn)擊“start”后,電子束電流值顯示40~60uA,實(shí)時(shí)畫(huà)面會(huì)不出圖像,此時(shí)需更換新鎢燈絲。
3、在實(shí)際中會(huì)需要不同倍數(shù)的圖片,所以在第二步的8中,放大倍數(shù)應(yīng)按需要的倍或更大來(lái)調(diào)整,圖像調(diào)清晰后,縮小需要的倍數(shù)即可,不用再聚焦。
4、樣品室內(nèi)必須保持清潔,不允許有雜物、碎屑等觸碰到探測(cè)器。

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