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旋片式真空泵是利用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的旋片的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以獲得真空的一種變?nèi)輽C(jī)械真空泵。當(dāng)采用工作液來進(jìn)行潤滑并填充泵腔死隙,分隔排氣閥和大氣時(shí),即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時(shí),即為干式旋片真空泵,將另頁介紹。
在油封旋片真空泵中,國內(nèi)習(xí)慣上稱皮帶傳動的為旋片真空泵,而把泵與電機(jī)直接連接或用聯(lián)軸器連接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的結(jié)構(gòu)形式和參數(shù)不同,泵的極限壓力和用途也不同。
它們的共同特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動,可直接排人大氣,偏心質(zhì)量較小,維護(hù)簡便,雙級泵的極限壓力為6×10-2~l×10-2Pa,一種單級泵可達(dá)4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。
自1909年蓋德(W.Gaede)發(fā)明旋片泵并取得德國,1936年又發(fā)明氣鎮(zhèn)泵,1941年取得以來,旋片真空泵得到廣泛應(yīng)用和不斷完善。60年代末,國際上出現(xiàn)了提高轉(zhuǎn)速,直聯(lián)的小型化趨勢,70年代初出現(xiàn)了直聯(lián)系列產(chǎn)品,到80年代初,又推出了改進(jìn)的系列產(chǎn)品,有多種可供用戶選配的附件,可以保護(hù)泵,或保護(hù)環(huán)境,泵本身結(jié)構(gòu)也有改進(jìn)而使可靠性提高。
在泵的結(jié)構(gòu)方面,為了能在停泵時(shí)防止返油,有的設(shè)有能自動切斷油路的止回閥,有的設(shè)有進(jìn)氣通道截止閥,有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運(yùn)轉(zhuǎn)突然停電時(shí)自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態(tài)而設(shè)有油泵和控制結(jié)構(gòu)。在附件方面,有消霧器、氣味過濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的人口過濾器、灰塵過濾器、蒸汽凝結(jié)阱、化學(xué)阱,有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護(hù)泵的溫控水量調(diào)節(jié)閥。到了80年代末,90年代初,又推出了油過濾器、能監(jiān)視油溫、油壓、油質(zhì)等的電子顯示器,甚至可以與計(jì)算機(jī)聯(lián)結(jié),進(jìn)行自動控制,采用強(qiáng)制潤滑和風(fēng)冷,使泵的連續(xù)工作入口壓力達(dá)10kPa,甚至更高,同一臺泵的適用范圍因而更大。
雙級旋片真空泵,可以廣泛用于冰箱、空調(diào)機(jī)、燈泡、日光燈、瓶膽生產(chǎn)和電子、冶金、醫(yī)藥、化工、濾油機(jī)、印刷機(jī)械、包裝機(jī)等工業(yè),可作為擴(kuò)散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵,供電子儀器、醫(yī)療儀器等配套和實(shí)驗(yàn)研究應(yīng)用。由于直聯(lián)泵沒有皮帶摩擦的粉塵的污染,體積小、重量輕、材料節(jié)約、功能日趨完善,更被廣泛推廣應(yīng)用。
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