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  萊寶真空泵真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中都發(fā)揮著極其重要的作用。 對(duì)于特殊的生產(chǎn)要求，必須選擇合適的真空設(shè)備。 在過去的幾年中，為了*半導(dǎo)體行業(yè)的需求，我們縮短了產(chǎn)品開發(fā)周期，并更快地推出了新產(chǎn)品，從而大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。 

  Leybold真空泵需要在真空下運(yùn)行的分析儀器行業(yè)是真空設(shè)備大，復(fù)雜的市場(chǎng)之一。 這個(gè)市場(chǎng)包括各種設(shè)計(jì)的平面分析儀器，質(zhì)譜儀，電子顯微鏡和氦氣檢漏儀系列。 我們的產(chǎn)品類型適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和*簡(jiǎn)單的桌面操作。 一些關(guān)鍵性能參數(shù)顯示了萊寶真空泵，測(cè)量設(shè)備和組件的工作能力，緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，*的技術(shù)水平和良好的穩(wěn)定性能。

  萊寶真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介：萊寶真空泵安裝在帶有三個(gè)葉片的偏心轉(zhuǎn)子泵體內(nèi)。 它們將泵分成三個(gè)隔室，每個(gè)隔室的容積會(huì)隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而定期變化。 當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，真空腔的進(jìn)氣部分的體積膨脹，并且氣體從進(jìn)氣口被吸入，氣體通過空氣過濾器元件，并且打開的止回閥進(jìn)入腔泵。 隨著轉(zhuǎn)子的進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)，葉片將泵腔部分與吸入口分開。

  泵腔的體積減小，氣體被壓縮。 氣體以略高于大氣壓的壓力通過排氣閥從泵腔中排出。 機(jī)油被注入到泵腔中以密封，潤(rùn)滑和冷卻泵。 由于轉(zhuǎn)向，壓縮氣體夾帶的油初被捕獲在油箱中。 然后在出口油霧分離器中將其*過濾。 結(jié)果，廢氣中的油含量下降到可見水平以下。

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