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調(diào)節(jié)中的氣體再釋放對(duì)真空測(cè)量的影響調(diào)節(jié)中的氣體再釋放對(duì)真空測(cè)量的影響主要有以下兩種形式：

（1）氣體的熱脫附對(duì)真空測(cè)量的影響。 在熱陰極電離真空計(jì)的調(diào)節(jié)中，高溫?zé)彡帢O本身就是一種氣體源。 當(dāng)其高溫?zé)崃可l(fā)到其他電極和儀表壁時(shí)，將導(dǎo)致氣體的熱解吸。 另外，脫落電極連接到電子收集電極以收集離子，并且氣體也將由于熱量而解吸。 為了消除熱脫附對(duì)真空測(cè)量的影響，必須對(duì)電極和管壁進(jìn)行充分脫氣（可以使用烘烤，電子轟擊，高頻加熱或歐姆加熱等），尤其是在超高溫下。  -高真空測(cè)量期間必須嚴(yán)格執(zhí)行脫氣，否則會(huì)產(chǎn)生較大的測(cè)量誤差。 

（2）氣體電解吸收和光解吸對(duì)真空測(cè)量的影響。 由于在電離計(jì)的加速電極上存在氣體吸附層，因此當(dāng)電子撞擊表面時(shí)，吸附層的氣體將被解吸，或者氣體將在其表面上被離子化，然后作為離子解吸。 這就是所謂的電子碰撞解吸效應(yīng)，它是影響電離規(guī)測(cè)量下限的重要因素。 光解吸是指當(dāng)金屬表面被光照射時(shí)分子解吸和分解的現(xiàn)象。 需要注意超高真空測(cè)量過(guò)程中的光解吸問(wèn)題10.9.4.2電離規(guī)調(diào)節(jié)抽氣對(duì)真空測(cè)量的影響

  A.用電清除氣體。 電子與氣體分子碰撞以電離并產(chǎn)生離子。 具有一定能量（約100 cV）的離子撞擊調(diào)節(jié)壁或被收集器接收。 這些離子或者結(jié)合在表面上或者埋在要去除的表面中。 這稱(chēng)為“電清潔”。 只有在300℃烘烤后才能釋放多的結(jié)合離子。 如果液位計(jì)內(nèi)壁上有濺射的金屬薄膜，它將對(duì)氦氣（He）產(chǎn)生強(qiáng)大的泵浦作用。電清除泵浦的泵浦速度（SE）和電子流，每個(gè)電極的電勢(shì)， 儀表壁的溫度與磁場(chǎng)和其他因素有關(guān)。如果電子流量增加，離子電流將線性增加，因此電間隙的泵浦速度與電子流量也近似呈線性關(guān)系； 如果電網(wǎng)（加速器）電勢(shì)發(fā)生變化，將導(dǎo)致電離幾率和電子能量發(fā)生變化，因此電清除的抽速也會(huì)發(fā)生變化。 如果存在磁場(chǎng)（例如冷磁控規(guī)），則由于其高電離效率，電清除的泵送速度會(huì)更大； 壓力表的壁溫及其電位對(duì)清除泵送空氣的泵送速度也有很大的影響。 降低調(diào)節(jié)壁的溫度將提高電掃地泵的泵送速度并降低結(jié)合分子的重新釋放速率。 如果壁電勢(shì)發(fā)生變化，則電吹掃泵的抽速也會(huì)發(fā)生變化，例如，當(dāng)表壁電勢(shì)等于電網(wǎng)電勢(shì)時(shí)，電吹掃泵的抽速是管壁的五倍，而 陰極。 一。

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