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渦輪分子泵的主要優(yōu)點是它們可以獲得更清潔的真空并且對所泵送氣體的化學特性不敏感。 但是抽速不能太快。 從應(yīng)用的角度來看,在安裝和操作分子泵時,請注意以下幾點。
①立式和臥式分子泵均不能承受穩(wěn)定或瞬時的扭矩,并且入口法蘭不能承受較大的真空容器負荷或懸臂負荷。 連接系統(tǒng)法蘭時,必須格外小心,以免使分子泵受到較大的沖擊,否則會損壞轉(zhuǎn)子和軸承。 將渦輪分子泵懸掛在容器法蘭上,而不要像擴散泵那樣將進口法蘭用作系統(tǒng)安裝平臺。
②渦輪分子泵是一種非常易碎的高速旋轉(zhuǎn)精密機械。 它不能突然暴露在大氣中。 錯誤操作可能會損壞葉片,甚至導致整個分子泵報廢。 盡管特別是立式渦輪分子泵的制造商試圖增加葉片的剛度和強度,設(shè)置了一些自動保護裝置,系統(tǒng)泄漏到大氣中,前級太高,電機定子或軸承太熱 ,并且電動機電流過載。 可以自動切斷電源。 保護裝置故障仍會引起事故。
③渦輪分子泵軸承潤滑油和前級泵油的污染仍然是一些應(yīng)用領(lǐng)域亟待解決的問題。 軸承潤滑使用增壓泵油和儀表油。 正常運行時,分子泵對油的壓縮比大,污染小,但在停止泵期間,油蒸氣分子會擴散到泵系統(tǒng)中。 在10-3Pa的飽和蒸氣壓條件下,系統(tǒng)的內(nèi)表面充滿水。單個分子僅需幾秒鐘。 一旦系統(tǒng)被污染,通常需要在連續(xù)100到200°C烘烤幾天后恢復到原來的真空水平,以緩慢恢復到原來的水平。
④軸承壽命問題。 磁懸浮軸承是有希望的理想軸承,它可以完*軸承壽命和油污問題。
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