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擴(kuò)散泵油對(duì)擴(kuò)散泵性能的影響至關(guān)重要。理想的擴(kuò)散泵 敞泵油 油應(yīng)飽和蒸氣壓低化熱低、工作穩(wěn)定、高溫下不分解、不吸收氣體、化學(xué)性能穩(wěn)定(與其接觸的材料 不起反應(yīng))、安全無(wú)毒,但是直至目前,還沒(méi)有研制出這種理想的工作液。水銀是的可用做泵液的單質(zhì)介質(zhì),它具有化學(xué)性能穩(wěn)定、不分解、不溶解氣體、汽化 熱小、加熱功率低等優(yōu)點(diǎn),大的缺點(diǎn)是蒸氣壓過(guò)高,室溫下(300K)的飽和蒸 氣壓高達(dá).5×10-Pa,必須使用冷阱捕集才能用于高真空、超高真空。
采用液氮 冷阱,還要考慮水銀在冷阱上的冷凍問(wèn)題,如果長(zhǎng)期連續(xù)幾天運(yùn)轉(zhuǎn),就可能將鍋爐 中的水銀耗盡而停止工作。另外,水銀有劇毒,又能與某些金屬材料起反應(yīng),帶來(lái) 很大的安全防護(hù)問(wèn)題,目前,除了一些研究機(jī)構(gòu)在小型玻璃系統(tǒng)采用水銀擴(kuò)散泵以 外,所有金屬油擴(kuò)散泵全部采用石油分餾碳?xì)浠衔锖秃铣捎妥鳛楸玫墓ぷ饕骸?nbsp;
現(xiàn)代擴(kuò)散泵的工作液有石油分餾碳?xì)浠衔?、酯類、聚硅氧烷及醚類。石油分餾的碳?xì)浠衔镉蛯儆谳p油類,制造成本低,價(jià)格低廉,但熱穩(wěn)定性、抗氧化性較差,蒸氣壓較高,僅適用于高真空泵。四苯基四甲基三硅氧烷(DC704)、五苯基甲基三硅氧烷(DC705)、混合五環(huán)聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟 聚醚( Fomblin Y vac)是目前應(yīng)用多的超高真空擴(kuò)散泵合成油。
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