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行業(yè)產(chǎn)品

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上海暉盈實業(yè)有限公司


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橫河電機Yokogawa臺式微量氧氧氣分析儀OX400

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產(chǎn)品型號OX400

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:徐智查看聯(lián)系方式

更新時間:2017-07-09 10:31:24瀏覽次數(shù):452次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:31條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:徐智 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導體應(yīng)用,并控制環(huán)境,空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
用于半導體擴散爐和烘干爐,以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制,用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測量,測量氧氣濃度。

詳細介紹

主要技術(shù)參數(shù):

測量對象

惰性氣體中的氧氣濃度
易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體包括水蒸氣除外

測量系統(tǒng)

氧化鋯系統(tǒng)

采樣方法

泵式抽提式等

樣氣條件

流速200±25ml/min(用于傳感器
溫度050℃(無結(jié)露
濕度無結(jié)露
壓力0300PaG
zui大容許壓力30kPaG

測量量程

010ppm O20100vol% O2

輸出量程

自動

010ppm,0100ppm,01000ppm01%,010%,0*(默認

固定

設(shè)為010ppm,0100ppm,01000ppm,01%010%,或0*

部分

可設(shè)置下限值或上限值

模擬輸出

2路輸出,路:420mA DC(zui大負載電阻550Ω),第路:可選為01,05010V DC(負載電阻10kΩ或更大

接點輸出

報警輸出2

錯誤接點,O2濃度報警接點

量程范圍輸出1

接點輸出

多選擇器選配件

流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出

接點輸入

1采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF

自診斷

故障

傳感器錯誤,加熱器溫度錯誤,溫度傳感器斷開,設(shè)備溫度錯誤,CPU錯誤,FAN停止

報警

加熱器不穩(wěn)定,傳感器錯誤,電動勢異常,非對稱電壓錯誤錯誤,標定錯誤,傳感器電阻錯誤,O2濃度上/下限,超限

串口通信

RS-232,38400 bps

標定方法

(1)310ppm1000ppm,空氣,(2)2可設(shè)定為零點氣和量程氣標定,(3)1點,(4)空氣標定

暖機時間

20分以內(nèi)

電源

100120V AC/220240V AC50/60Hz

功耗

100120V AC,200VA zui大,220240V AC,400 VA zui大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 375 (D) mm

質(zhì)量

5kg

管線連接

氣體入口Rc1/41/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口Rc1/41/4NPT內(nèi)螺紋

環(huán)境條件

安裝條件

室內(nèi),盤裝或壁裝,非易燃區(qū)域

環(huán)境溫度

040℃,無結(jié)露

環(huán)境濕度

585%RH

儲存溫度

-550℃

重復性

±1%F.S.(10100,1000 ppm1%10%*)

線性

±2%F.S.
±3%F.S.(0100ppm或更低

響應(yīng)時間

90%響應(yīng)
10秒內(nèi)(01%或更高
30秒內(nèi)小于01%)

漂移

±2%F.S./

關(guān)鍵詞:傳感器
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