真空爐、氣氛爐的真空系統(tǒng)一般有三種類型：低真空系統(tǒng)、中真空系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。
一、低真空系統(tǒng)。一般是由一個(gè)泵組成的系統(tǒng)，該種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低。對(duì)這種要求范 圍的真空系統(tǒng)，一般只需配置機(jī)械真空泵，就能保證間斷工作的爐子可靠地工作。當(dāng)真空度要求稍高，抽氣速率要求不太大的情況下，可選用旋片式真空泵；當(dāng)抽氣速率需要較大，而真空度要求不太高時(shí)，可選用滑閥式真空泵。
二、中真空系統(tǒng)。它有三種形式：1由羅茨泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)；2由油增壓 泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)；3由羅茨泵串聯(lián)小羅茨泵，再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)。
這種壓強(qiáng)范圍的真空系統(tǒng)，通常由增壓泵和機(jī)械真空泵組成。此時(shí)機(jī)械真空泵便是一種預(yù)真 空泵，預(yù)真空泵的選擇應(yīng)保證增壓泵能力的發(fā)揮。增壓泵有機(jī)械增壓泵（羅茨泵）和油增壓 泵兩種。機(jī)械增壓泵啟動(dòng)快，能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到極限真空，也有很大的抽氣速率，這樣彌補(bǔ)了油 擴(kuò)散泵和油增壓泵在10~10-2Pa時(shí)抽氣速率小的不足。但是，機(jī)械增壓泵的極限真空度略低于油 增壓泵組成的真空系統(tǒng)。
三、高真空系統(tǒng)。它有三種形式：1由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系 統(tǒng)；2由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)；3由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián) 機(jī)械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)。高真空系統(tǒng)與低真空系統(tǒng)相比，其特點(diǎn)是壓強(qiáng)較低、排氣量小、抽氣 速率小。高真空油蒸氣擴(kuò)散泵不能直接對(duì)大氣工作。
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