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真空爐、氣氛爐的真空系統(tǒng)分類

閱讀:219發(fā)布時(shí)間:2022-1-9

真空爐氣氛爐真空系統(tǒng)一般有三種類型:低真空系統(tǒng)、中真空系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。

 一、低真空系統(tǒng)。一般是由一個(gè)泵組成的系統(tǒng),該種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低。對(duì)這種要求范 圍的真空系統(tǒng),一般只需配置機(jī)械真空泵,就能保證間斷工作的爐子可靠地工作。當(dāng)真空度要求稍高,抽氣速率要求不太大的情況下,可選用旋片式真空泵;當(dāng)抽氣速率需要較大,而真空度要求不太高時(shí),可選用滑閥式真空泵。

  二、中真空系統(tǒng)。它有三種形式:1由羅茨泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);2由油增壓 泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);3由羅茨泵串聯(lián)小羅茨泵,再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)。

  這種壓強(qiáng)范圍的真空系統(tǒng),通常由增壓泵和機(jī)械真空泵組成。此時(shí)機(jī)械真空泵便是一種預(yù)真 空泵,預(yù)真空泵的選擇應(yīng)保證增壓泵能力的發(fā)揮。增壓泵有機(jī)械增壓泵(羅茨泵)和油增壓 泵兩種。機(jī)械增壓泵啟動(dòng)快,能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到極限真空,也有很大的抽氣速率,這樣彌補(bǔ)了油 擴(kuò)散泵和油增壓泵在10~10-2Pa時(shí)抽氣速率小的不足。但是,機(jī)械增壓泵的極限真空度略低于油 增壓泵組成的真空系統(tǒng)。

  三、高真空系統(tǒng)。它有三種形式:1由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)羅茨泵,再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系 統(tǒng);2由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng);3由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)油增壓泵,再串聯(lián) 機(jī)械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)。高真空系統(tǒng)與低真空系統(tǒng)相比,其特點(diǎn)是壓強(qiáng)較低、排氣量小、抽氣 速率小。高真空油蒸氣擴(kuò)散泵不能直接對(duì)大氣工作。

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