film膜厚測試儀

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更新時間：2025-07-23 20:12:51瀏覽次數(shù)：23次

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昆山華乃爾精密儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

film膜厚測試儀

詳細介紹

film膜厚測試儀

應用介紹

本film膜厚測試儀應用在透明及半透明材料的厚度或涂層的測量，包括半導體鍍膜,光刻膠，玻璃減反膜測量，藍寶石鍍膜,ITO玻璃，太陽能鍍膜玻璃，各種襯底上的膜厚，膜的顏色測量，卷對卷柔性涂布，其他需要測量膜厚的場合等，無論有無底材或者底材是何種材料均無影響。應用在精密半導體wafer,ITO玻璃，fpc或pcb膜厚，材料表面光學鍍膜，電鍍陽極處理，UV膠厚等領域。

系統(tǒng)結構：

產(chǎn)品型號	A3-ST-100	A3-SR-100	A3-ST-200	A3-SR-200	A3-ST-300	A3-SR-300
產(chǎn)品尺寸	W270D217H90 測試支架（可根據(jù)客戶需求調整）	W270D217H90 測試支架（可根據(jù)客戶需求調整）	W270D217（H90+H140）測試支架（可根據(jù)客戶需求調整）	W270D217（H90+H140）測試支架（可根據(jù)客戶需求調整）	W270D217H90 測試支架（可根據(jù)客戶需求調整）	W270D217H90 測試支架（可根據(jù)客戶需求調整）
測試方式	可見光(VIS ) 透射(T)	可見光VIS 反射(R)	紫外+可見UV+VIS 透射(T)	紫外+可見+UV+VIS 反射(R)	IR 透射(T)	IR 反射(R)
波長范圍	380 - 780 nm	380 - 780 nm	250 - 1000 nm	250 - 1000 nm	900 - 1200 nm	900 - 1200 nm
光源	鎢鹵素燈	鎢鹵素燈	鎢鹵素燈+氘燈	鎢鹵素燈+氘燈	鎢鹵素燈	鎢鹵素燈
光路和傳感器	光纖式(FILBER )+進口光譜儀
入射角	0 度 (垂直入射) (0 DEGREE)
參考光樣品	硅片
光斑大小 LIGHT SPOT	About 1 mm（標配，可以根據(jù)用戶要求配置）
樣品大小 SAMPLE SIZE	10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置)

光學測量技術參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）

測試方式	反射，透射
透射準確性 Transmission Accuracy	1%
反射準確性 Reflaction Accuracy	1%
精度	0.1%

膜厚測量性能指標（THICKNESS SPECIFICATION）：

產(chǎn)品型號	A3-SR-100	A3-SR-200	A3-SR-300
厚度測量¹ Thickness	15 nm - 100 um	2nm - 200 um	500nm-1000um
折射率¹（厚度要求） N	100 nm 以上	50nm and up	---------------
準確性² Accuracy	2 nm 或0. 5%
精度³ precision	0.1 nm

¹表內為典型數(shù)值, 實際上材料和待測結構也會影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測量，實際上材料和待測結構也會影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1秒.

軟件(SOFTWARE)：

檢測項目	標準型
層數(shù)	10 層
材料	表格型和函數(shù)型
粗糙度模型	有
反射/透射	反射型+透射型
材料庫	表格型+函數(shù)型
入射角	垂直入射
折射率測量	有