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掃描電鏡的相關(guān)知識介紹

閱讀:1發(fā)布時間:2025-7-6

掃描電子顯微鏡是一種掃描電子顯微鏡顯微鏡,廣泛應用于化學、生物、醫(yī)藥、冶金、材料、半導體制造、微電路測試等研究領(lǐng)域和行業(yè)。
  大多數(shù)掃描電子顯微鏡配備有用于成分分析的能量色散光譜儀(EDS)。值得注意的是,能譜不能單獨存在,而是附著在電子顯微鏡上,作為探測器存在,常見的能譜儀品牌有島津、牛津、Thermo Fishe,所有進口設備。
  掃描電鏡基本原理
  當電子束與樣品相互作用時,它會產(chǎn)生一種信號,這些信號中見的包括:后向散射電子,次級電子,吸收電子,透射電子,特征X射線,螺旋電子,所以這些信號可以用來表征樣品的性質(zhì)。能譜分析是在能譜探測器的基礎(chǔ)上進行的,能譜探測器利用特征X射線來分析成分。
  電子槍發(fā)射的高能電子束與樣品物質(zhì)的相互作用產(chǎn)生各種信息,這些信息被相應的接收器接收、放大并發(fā)送到顯像管的柵極,以調(diào)制顯像管的亮度。通過掃描線圈的電流對應于顯像管的相應亮度。
  設備進行管理工作就是企業(yè)通過自己這樣一個可以設計采用逐點成像的方法,把樣品表面具有中國不同的特征,按順序、成比例地轉(zhuǎn)換為視頻數(shù)據(jù)信號,完成1一幀圖像,從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種社會文化發(fā)展特征以及圖像
  掃描電鏡樣品制備
  在了解了SEM的工作原理后,下一步的重要樣品制備環(huán)節(jié)。大多數(shù)人會忽視樣品制備的重要性,事實上,樣品制備的質(zhì)量,對檢測結(jié)果有很大的影響。
  高品質(zhì)待測樣品具有以下特點:電性好、體積小、清潔、穩(wěn)定
  電性:電導率良好,樣品的成像技術(shù)電導率良好,樣品分析電導率差,需要提高金噴涂材料的導電性
  ?。簶悠沸щ娦詴?,且易于抽真空
  清潔:待測表面保持新鮮,測試前用酒精擦拭
  穩(wěn)定性:不粘穩(wěn)的圖像總會抖動、漂移,成像質(zhì)量差。
  一般要測量的樣品狀態(tài)有:塊狀、薄膜狀、粉末狀、液體狀。常用的導電膠帶是雙面膠帶。
  液體:先將雙面膠帶粘貼在樣品臺上,然后將干凈的硅片粘貼,然后將溶液小心地滴在硅片上,自然干燥。
  粉末:在樣本架上粘上雙面膠帶,在膠帶上撒上少量粉末,用耳球吹走多余的樣本,樣本分散性差的個別樣本可以分散在液體溶液中,重復液體樣本制備方法


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