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深圳市善時儀器有限公司
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閱讀：1發(fā)布時間：2025-7-6
今天小編來給大家介紹一下關(guān)于掃描電鏡的組合結(jié)構(gòu)是什么，主要內(nèi)容如下：
掃描電鏡主要是由真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)和成像系統(tǒng)三個部分組合而成。先給大家介紹一下什么是真空系統(tǒng)。
真空系統(tǒng)是主要包含了真空泵和真空柱兩個部分。而真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵主要是用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。其主要有機械泵、油擴散泵和渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合是可以滿足掃描電鏡的真空要求的，主要是配置鎢。但對于裝置了場致發(fā)射槍或六硼化鑭槍的掃描電鏡，就需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)都是內(nèi)置在真空柱中。真空柱的底端是一個密封室，是用來放置樣品的。為什么要用真空呢，主要是因為以下兩個原因：點，在普通大氣中電子束系統(tǒng)中的燈絲會迅速氧化最后導(dǎo)致失效，所以除了在使用掃描電鏡時需要用真空以外，平時還需要用純氮氣或者惰性氣體充滿整個真空柱。第二點：需要使用大量成像的電子，來增大電子的平均自由程度。
綜上所述就是深圳市善時儀器有限公司小編給大家介紹的關(guān)于掃描電鏡的組合結(jié)構(gòu)是什么的主要內(nèi)容，對于掃描電鏡的另外兩個組成部分電子束系統(tǒng)和成像系統(tǒng)到下期再給大家進行介紹，如果有什么問題，歡迎留言或者是電話咨詢。
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