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深圳市善時儀器有限公司
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閱讀：0發(fā)布時間：2025-7-6
前兩期善時儀器的小編給大家介紹的是關(guān)于掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成部分的其中兩大部分的真空系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)，而掃描電鏡是由三個部分組成，那么構(gòu)成的第三個部分是什么呢？下面小編就給大家介紹一下。第三部分就是成像系統(tǒng)，成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)相互之間的關(guān)聯(lián)度。因為電子束系統(tǒng)是由電子槍和電磁透鏡兩部分共同作用，主要可以產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束，可以用來掃描成象。
而電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束之后，打到樣品上，再與樣品相互作用，就可以產(chǎn)生一系列信號，比如：次級電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等。所以需要不同的探測器來區(qū)分這些信號，比如次級電子探測器、X射線能譜分析儀等，以此獲得所需要的信息。雖然X射線信號是不能用于成象的，但是在習(xí)慣上，仍然會把X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
但是有一些探測器造價比較昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測器，成本高，所以可以退而求其次的選擇使用次級電子探測器代替，但是需要設(shè)定一個偏壓電場來篩除次級電子才可以。
以上就是關(guān)于掃描電鏡的結(jié)構(gòu)——真空系統(tǒng)、電子束系統(tǒng)、成像系統(tǒng)的全部內(nèi)容，如果有疑問，可以在下方留言，如果有需要的話，可以電話詢問。
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