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深圳市善時(shí)儀器有限公司
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閱讀：0發(fā)布時(shí)間：2025-7-6
一 、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?br>1.了解掃描電子顯微鏡的原理還有結(jié)構(gòu)；
2.運(yùn)用掃描電子顯微鏡進(jìn)行樣品微觀形貌觀察。
二、實(shí)驗(yàn)原理
掃描電子顯微鏡(SEM)其實(shí)是用聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號(hào)可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號(hào)。由電子槍發(fā)射的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級(jí)聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強(qiáng)度和束斑直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下，在試樣表面按照一定時(shí)間以及空間順序作柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束和試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射以及背散射電子等物理信號(hào)，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號(hào)被探測(cè)器收集轉(zhuǎn)換成電訊號(hào)，通過視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。
三、實(shí)驗(yàn)儀器
SS-60系列掃描電子顯微鏡
四、實(shí)驗(yàn)步驟
1.樣品的制備
2.儀器的基本操作
1)開啟穩(wěn)壓器及水循環(huán)系統(tǒng)；
2)開啟掃描電鏡還有能譜儀控制系統(tǒng)；
3)樣品室放氣，將已處理好的待測(cè)樣品放入樣品支架上；
4)當(dāng)真空度達(dá)到要求之后，在一定的加速電壓下進(jìn)行微觀形貌的觀察。
五、觀察結(jié)果
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