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掃描電子顯微鏡是如何被發(fā)現(xiàn)的

閱讀:1發(fā)布時(shí)間:2025-7-6

  掃描電子顯微鏡是如何被發(fā)現(xiàn)的?相信很多人對(duì)于這個(gè)方面都不太了解,因此今天善時(shí)儀器的小編就給大家整理了下述內(nèi)容,一起來(lái)看下吧。

 

  一九二三年,法國(guó)科學(xué)家Louis de Broglie發(fā)現(xiàn),微觀粒子本身除具有粒子特性以外還具有波動(dòng)性。他指出不單單光具有波粒二象性,一切電磁波與微觀運(yùn)動(dòng)物質(zhì)(電子、質(zhì)子等)也都具有波粒二象性。

 

  電磁波在空間的傳播,是一個(gè)電場(chǎng)與磁場(chǎng)交替轉(zhuǎn)換向前傳遞的過(guò)程。電子在高速運(yùn)動(dòng)的時(shí)候,它的波長(zhǎng)遠(yuǎn)比光波要短得多,于是人們就想到是不是能夠用電子束代替光波來(lái)實(shí)現(xiàn)成像?

 

  一九二六年,德國(guó)物理學(xué)家H·Busch提出了關(guān)于電子在磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)理論。他指出:具有軸對(duì)稱性的磁場(chǎng)對(duì)電子束來(lái)說(shuō)起著透鏡的作用。從理論上設(shè)想了可以利用磁場(chǎng)作為電子透鏡,達(dá)到使電子束會(huì)聚或發(fā)散的目的。

 

  有了上述兩方面的理論,一九三二年,德國(guó)柏林工科大學(xué)高壓實(shí)驗(yàn)室的M.Knoll與E.Ruska研制成功了第1臺(tái)實(shí)驗(yàn)室掃描電子顯微鏡,這是后來(lái)透射式電子顯微鏡(transmission electron microscope,TEM)的雛形。

 

  它的加速電壓為70kV,放大率僅12倍。計(jì)算這樣的放大率還微不足道,可是它有力地證明了使用電子束和電磁透鏡能夠形成和光學(xué)影像相似的電子影像。這為以后電子顯微鏡的制造研究和提高奠定了基礎(chǔ)。

 

  一九三三年,E.Ruska用電鏡獲得了金箔與纖維的1萬(wàn)倍的放大像。至此,電鏡的放大率已超過(guò)了光鏡,但是對(duì)顯微鏡有著決定意義的分辨率,這時(shí)還只剛剛達(dá)到光鏡的水平。

 

  一九三七年,柏林工業(yè)大學(xué)的Klaus與Mill繼承了Ruska的工作,拍出了張細(xì)菌和膠體的照片,獲得了二十五納米的分辨率,從而使電鏡完成了超越光鏡性能的這一豐功偉績(jī)。

 

  一九三九年,E.Ruska在德國(guó)的Siemens公同制成了分辨率優(yōu)于十納米的第1臺(tái)商品電鏡。因?yàn)镋·Ruska在電子光學(xué)與設(shè)計(jì)第1臺(tái)透射電鏡方面的開(kāi)拓性工作被譽(yù)為"本世紀(jì)重要的發(fā)現(xiàn)之一",而榮獲一九八六年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。

 

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