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閱讀：0發(fā)布時(shí)間：2025-7-6
臺(tái)式掃描電鏡，是自上世紀(jì)六十年代作為商用電鏡面世以來(lái)快速度發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器，被普遍地使用于化學(xué)領(lǐng)域、生物領(lǐng)域、醫(yī)學(xué)領(lǐng)域、冶金領(lǐng)域、材料領(lǐng)域、半導(dǎo)體制造領(lǐng)域、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域與工業(yè)部門(mén)。
臺(tái)式掃描電鏡的特點(diǎn)：
制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等，對(duì)于導(dǎo)電材料，能夠直接放入樣品室進(jìn)行分析，對(duì)于導(dǎo)電性差或者絕緣的樣品那么就需要噴鍍導(dǎo)電層。
臺(tái)式掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)：
從結(jié)構(gòu)上來(lái)看，臺(tái)式掃描電鏡主要是由七大系統(tǒng)組合而成的，也就是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理與顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)以及電源供給系統(tǒng)。
此中重要的三個(gè)系統(tǒng)是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理還有顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
臺(tái)式掃描電鏡基本結(jié)構(gòu)之電子光學(xué)系統(tǒng)：
電子光學(xué)系統(tǒng)包含電子槍、電磁透鏡、掃描線圈以及樣品室等，主要使用于產(chǎn)生一束能量分布特別窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。
電磁透鏡：熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束，因此在用熱發(fā)射電子槍的掃描電鏡上，電磁透鏡*。常常會(huì)裝配兩組：匯聚透鏡還有物鏡，匯聚透鏡只使用于匯聚電子束，和成象會(huì)焦沒(méi)有關(guān)系；物鏡負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)匯聚到樣品表面。
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