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閱讀：1發(fā)布時(shí)間：2025-7-6
掃描電子顯微鏡(SEM)是介于透射電鏡還有光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。主要使用于各種材料的微觀分析還有成分分析，已經(jīng)成為材料科學(xué)、生命科學(xué)以及各生產(chǎn)部門品質(zhì)控制中的工具之一。
掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)包含電子光學(xué)系統(tǒng)、圖像顯示與記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)還有X射線能譜分析系統(tǒng)。
掃描電子顯微鏡的原理介紹：
掃描電子顯微鏡是一種利用高能聚焦電子束掃描樣品表面，從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。因此其使用電子束為照明源，電子束在樣品表面掃描，利用電子還有物質(zhì)作用所產(chǎn)生的信息結(jié)合電子光學(xué)原理進(jìn)行成像。判斷掃描電鏡性能主要根據(jù)分辨率還有有效放大倍數(shù)。分辨率也就是可以分辨的小距離。
一般選擇使用阿貝公式定義分辨率，公式（單位為nm）為：
式（1）中：R是分辨率；λ是波長；n是折射率；α是孔徑半徑。
有效放大倍數(shù)定義為：
式（2）中：Rp是人眼可以區(qū)分的小距離，Rm是機(jī)器能夠分辨的小距離，例如人眼能夠區(qū)分0.2 mm，機(jī)器可以區(qū)分1 nm，那么這臺(tái)儀器有效放大倍數(shù)是二十萬倍。針對(duì)不同的有效放大倍數(shù)，掃描范圍也會(huì)有所區(qū)別。
掃描電子顯微鏡的原理今天善時(shí)儀器的小編就給大家介紹到這里，更多精彩資訊歡迎下期看點(diǎn)。
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