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深圳市善時儀器有限公司
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閱讀：1發(fā)布時間：2025-7-6
掃描電子顯微鏡，英文名字為SEM，是scanningelectronmicroscope的縮寫。掃描電子顯微鏡主要是運用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，也就是用特別狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束和樣品的相互作用從而產(chǎn)生各種效應(yīng)，此中關(guān)鍵是樣品的二次電子發(fā)射。
掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)：
掃描電子顯微鏡是由三大部分組合而成的：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)還有成像系統(tǒng)。
1.真空系統(tǒng)，主要包含真空泵以及真空柱這兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器，真空泵則用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。
2.電子束系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)主要是由電子槍以及電磁透鏡這兩部分組合而成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。電子槍用于產(chǎn)生電子，主要有利用場致發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子還有利用熱發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子兩種。
3.成像系統(tǒng)，電子通過一系列電磁透鏡成束之后，打到樣品上和樣品相互作用，會產(chǎn)生次級電子、背散射電子、歐革電子還有X射線等一系列信號。因此需要不同的探測器比方說次級電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號為了獲得所需要的信息。
綜上所述便是今天深圳市善時儀器有限公司的小編給大家介紹的關(guān)于掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)全部內(nèi)容，更多精彩歡迎下期看點。
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