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閱讀：1發(fā)布時(shí)間：2025-7-6
掃描電子顯微鏡是由電子槍發(fā)射的電子束可以達(dá)到30keV,經(jīng)會(huì)聚透鏡、物鏡縮小以及聚焦,在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度還有斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下,入射電子束在樣品表面上按照一定的空間以及時(shí)間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。因?yàn)槿肷潆娮雍蜆悠分g的互相作用,將從樣品中激發(fā)出二次電子。因?yàn)槎坞娮邮占瘶O的作用，可以把各個(gè)方向發(fā)射的二級(jí)電子匯集起來,隨之再將加速極加速射到閃爍體上,轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),通過光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管,讓光信號(hào)再轉(zhuǎn)變成電信號(hào)。這個(gè)電信號(hào)又經(jīng)過視頻放大器放大并且將其輸送到顯像管的柵極,調(diào)制顯像管的亮度。因此，在熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。
在掃描電子顯微鏡中，入射電子束在樣品上的掃描以及顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器進(jìn)行操控的。如此就保障了入射電子束的掃描以及顯像管中電子束的掃描同步,保障了樣品上的“物點(diǎn)”和熒光屏上的“象點(diǎn)”在時(shí)間以及空間上一一對(duì)應(yīng),我們稱之它為“同步掃描”。通常掃描圖象是由近一百萬個(gè)盒物點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)的圖象單元組合而成的,正由于這樣,才讓掃描電子顯微鏡可以顯示一般的形貌外,還可以把樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。
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