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深圳市善時儀器有限公司
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閱讀：0發(fā)布時間：2025-7-5
要獲得一張清晰的掃描電鏡照片，必須要能夠做好基本的電鏡操作、以及針對各種樣品做出工作條件的優(yōu)化。
SS-150臺式掃描電鏡
基本操作包括熟練的調(diào)節(jié)對焦和消像散。對焦相對容易，改變焦距，直至圖像清楚的時刻即為合焦。在偏離焦距較多的時候可以用較高的靈敏度，在合焦點附近調(diào)低靈敏度，以便進行準確對焦。
基本操作中消像散相對來說比較麻煩，特別是像散很大時，對于很多初學者來說調(diào)節(jié)比較困難。不過前面已經(jīng)介紹了像散的產(chǎn)生，電子束由于不再是圓形，所以在像散未消除的情況下，圖像是不清晰的。不過其中有兩個特殊的位置，即光學中的子午和弧矢，在這兩個位置上束斑成正交的直線。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。
所以反映在掃描電鏡圖像上，改變焦距的時候會出現(xiàn)兩個嚴重的拉伸，拉伸方向可能因樣品而不同，但是這兩個拉伸方向一定正交。所以此時將焦距調(diào)節(jié)至兩個拉伸明顯狀態(tài)的中間位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，進行消像散線圈的調(diào)節(jié)，先調(diào)X或Y中的一個維度，待圖像達到清楚后再調(diào)節(jié)另一個維度。
有關拉伸方向的判斷并不困難，試樣中的各種特征點都可以作為判斷依據(jù)，尤其在像散比較大時，不要焦距和像散的兩個維度亂調(diào)一氣，以免像散過大而無從判斷。
消像散、對焦是掃描電鏡操作中最基本的要求，在進行圖像觀察時要時刻保持合焦和無像散的狀態(tài)。
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