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掃描電鏡與透射電鏡的區(qū)別

閱讀:0發(fā)布時(shí)間:2025-7-5

  掃描電鏡和透射電鏡這兩種設(shè)備都使用電子來獲取樣品的圖像,它們的主要組成部分是相同,下面就介紹一下兩者之間的區(qū)別

 


SS-150掃描電鏡


 

 

  一、掃描電鏡的特點(diǎn)

 

  和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點(diǎn):

 

  (一) 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

 

  (二) 樣品制備過程簡(jiǎn)單,不用切成薄片。

 

  (三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察。

 

  (四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。

 

  (五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達(dá)3nm。

 

  (六) 電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。

 

  (七) 在觀察形貌的同時(shí),還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析

 

  透射電鏡是以電子束透過樣品經(jīng)過聚焦與放大后所產(chǎn)生的物像, 投射到熒光屏上或照相底片上進(jìn)行觀察。透射電鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬~幾十萬倍。由于電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,必須制備更薄的超薄切片(通常為50~100nm)。其制備過程與石蠟切片相似,但要求極嚴(yán)格。要在機(jī)體死亡后的數(shù)分鐘釣取材,組織塊要小(1立方毫米以內(nèi)),常用戊二醛和餓酸進(jìn)行雙重固定樹脂包埋,用特制的超薄切片機(jī)(ultramicrotome)切成超薄切片,再經(jīng)醋酸鈾和檸檬酸鉛等進(jìn)行電子染色。

 

  電子束投射到樣品時(shí),可隨組織構(gòu)成成分的密度不同而發(fā)生相應(yīng)的電子發(fā)射,如電子束投射到質(zhì)量大的結(jié)構(gòu)時(shí),電子被散射的多,因此投射到熒光屏上的電子少而呈暗像,電子照片上則呈黑色。稱電子密度高(electron dense)。反之,則稱為電子密度低(electron lucent)。

 

Sense_5kV_SE_HighVac_x2.5K_MiniSEM_0副本

 

  從所提到的一切來看,顯然沒有“更好”的技術(shù);這取決于需要的分析類型。 當(dāng)用戶想要從樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)獲得信息時(shí),透射電鏡(TEM)是的選擇,而當(dāng)需要樣品表面信息時(shí),掃描電鏡(SEM)是。 當(dāng)然主要決定因素是兩個(gè)系統(tǒng)之間的巨大價(jià)格差異,以及易用性。 透射電鏡(TEM)可以為用戶提供更多的分辨能力和多功能性,但是它們比掃描電鏡(SEM)更昂貴且體型較大,需要更多操作技巧和復(fù)雜的前期制樣準(zhǔn)備才能獲得滿意的結(jié)果。

 


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