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掃描電鏡觀測(cè)樣品需要滿足什么條件?

閱讀:0發(fā)布時(shí)間:2025-7-5

        說(shuō)到掃描電鏡,很多人可能是聽(tīng)說(shuō)過(guò)的,這是一種非常普遍的設(shè)備,市場(chǎng)上掃描電鏡品牌和廠商也非常的多,應(yīng)用的范圍很廣泛。掃描電鏡本身是一種多功能的設(shè)備、其有很多的性能、特別是在鑒定分析中其是使用廣泛的一種設(shè)備。一般來(lái)講,我們使用它對(duì)被觀測(cè)物體的外觀形貌進(jìn)行觀測(cè)或分析,另外在觀察形貌的同時(shí),我們也可以對(duì)掃描電鏡選配EDS進(jìn)行元素成份分析。

 


 

SS-150掃描電鏡


 

 

        由于掃描電鏡并非直接觀測(cè),而是通過(guò)發(fā)射電子束對(duì)樣品進(jìn)行激發(fā),并使用背散射或二次電子探測(cè)器對(duì)被觀測(cè)物體的成份像和形貌像進(jìn)行分析。由于掃面電鏡的工作方式就決定了,一般說(shuō)來(lái)使用掃描電鏡觀測(cè)的樣品需要滿足如下幾個(gè)要求:

 

        1.    形貌形態(tài),必須耐高真空

        掃描電鏡是靠電子束掃描物體表面來(lái)成像的??諝獾拇嬖跁?huì)使的電子束變型,影響掃描效果,所以被測(cè)樣品比較能耐高真空。

 

        2.樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物

        油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?,?duì)真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量;碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散;碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y(cè)器晶體表面,降低探測(cè)器效率。對(duì)低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

 

        3.樣品必須是干燥的

        水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā),從而極大降低燈絲壽命;水蒸氣會(huì)散射電子束,增加電子束能量分散,從而增大色差,降低分辨能力。

 

        4.樣品表面可以導(dǎo)電

        樣品表面必須可以導(dǎo)電,如果不能導(dǎo)電,則必須鍍金以增加導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下,初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子必須導(dǎo)入地下,即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢(shì)不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。對(duì)不導(dǎo)電的樣品,建議采用離子濺射鍍膜機(jī)噴鍍金屬,這樣可以顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。

 

        5特殊樣品制備的考慮因素

        掃描電鏡一般不建議觀測(cè)磁性材料,如果一定要觀測(cè)此類物質(zhì),則建議對(duì)材料首行退磁。如果要檢測(cè)觀察弱反差機(jī)理,就必須消除強(qiáng)反差機(jī)理(例如,形貌反差),否則很難檢測(cè)到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí),磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光,電解拋光等,以使樣品產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面。 

 

        通過(guò)以上了解,相信大家對(duì)掃描電鏡觀測(cè)樣品有了一定的認(rèn)識(shí),總結(jié)說(shuō)來(lái),掃描電鏡樣品通常需要在真空環(huán)境下進(jìn)行觀測(cè)(目前少數(shù)電鏡也有采用低真空技術(shù)進(jìn)行觀測(cè)的),因此其對(duì)被觀察樣品的要求簡(jiǎn)單說(shuō)來(lái)就是,樣品需要:干燥、無(wú)油、導(dǎo)電。希望以上內(nèi)容對(duì)大家有所幫助。

 


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