(1）Vacuum system的點檢
1）.O型圈點檢及更換
由于經(jīng)常更換樣品或更換燈絲的緣故，真空艙門部位的O型真空密封圈或電子槍的O型真空密封圈磨損的頻率較高。因為灰塵附著，污染等原因會造成真空泄露的現(xiàn)象。需要定期進行清潔管理。
將O型真空密封圈從卡槽中取出。請勿使用金屬工具進行操作。若在卡槽或密封圈的表面造成瑕疵或變形會導(dǎo)致無法抽真空。
使用蘸有少量乙醇的無紡布擦拭取出的密封圈，取出上面的灰塵和污染物。擦拭好的密封圈請確保不要直接接觸皮膚或衣服等其他污染源避免造成二次污染。
仔細檢查密封圈是否有灰塵或瑕疵。若發(fā)現(xiàn)有瑕疵或變形則需要更換密封圈。
蘸取少量真空密封油（Vacuum grease）均勻涂布在密封圈表面。
使用乙醇將固定密封圈的卡槽清潔干凈。
將均勻涂布了真空密封油的密封圈按原位置放入卡槽。
2）.Rotary pump oil點檢及更換
真空泵油若量不足或發(fā)生變色、變質(zhì)等現(xiàn)象會影響真空泵的性能。因此需要定期對真空泵油進行檢查和更換。
補充
真空泵油的補充是指在真空泵油沒有變質(zhì)或污染的情況下，油量低于標準位置時而進行泵油補充。
泵油補充時請參照真空泵油標尺從注油口處倒入真空泵油。
更換
通過真空泵油標尺處可以看到真空泵油發(fā)生變色時或者每隔6個月至1年需定期更換真空泵油。
拆下和設(shè)備主機連接著的真空泵管（Air hose）和oil mist。
拆下排出口處螺絲后將泵油排出。
廢油排出后重新裝上螺絲，從注油口處注入新油。適當?shù)淖⑷肓繛檎婵毡糜蜆顺叩南孪藓蜕舷薜?/3處。
重新將設(shè)備主機和真空泵管（Air hose）及oil mist連接。
（2）故障處理
1）故障維修
在使用中若設(shè)備發(fā)生異常，請按照本章中的提示進行操作。若本章中未提及的故障發(fā)生時，請停止運行設(shè)備并聯(lián)系我司。
?故障維修檢查系統(tǒng)只能由經(jīng)過培訓(xùn)并了解設(shè)備的人員進行操作。
?故障維修檢查期間若沒有使用正確的保護措施，有可能引起傷亡或嚴重的受傷，因此在進行故障維修時必須使用保護設(shè)施。
?故障維修前請關(guān)閉電源。
?進行故障維修前請再次確認注意事項。若在故障維修時無法判斷該如何實施時請立即停止作業(yè)關(guān)聯(lián)系我司。
2）設(shè)備故障的情況
2.1、系統(tǒng)電源故障
現(xiàn)象：
按下“SS-60”正面的電源按鍵后，顯示燈不亮，設(shè)備電源不供電，設(shè)備不能啟動。
原因：
1）供給電源的220V插頭不能供電
2）“SS-60”內(nèi)部超負荷而引起E.L.B（漏電保護器）將電源轉(zhuǎn)至關(guān)閉狀態(tài)
解決方法：
檢查供給設(shè)備電源的220V插頭是否從供電盒脫落
檢查“SS-60”背面的E.L.B（漏電保護器）的開關(guān)是否處于打開狀態(tài)
若確認設(shè)備背面的開關(guān)之前是打開狀態(tài)，之后并不是人為將開關(guān)關(guān)閉時，此時不要將開關(guān)打開，請聯(lián)系售后工程師
注意：若確定電源插頭正確插在供電盒上，并且E.L.B（漏電保護器）的開關(guān)在打開狀態(tài)時，請?zhí)貏e注意此時即使不打開設(shè)備正面的開關(guān)按鍵SMPS和其他設(shè)備部分也可能帶電
2.2、PC啟動故障
現(xiàn)象：
計算機無法被正常打開或畫面中什么也不出現(xiàn)
計算機啟動中途黑屏，停止啟動
軟件不能正常執(zhí)行
原因：
計算機電源不供電
計算機沒有正常關(guān)機導(dǎo)致軟件出現(xiàn)問題
計算機和“SS-60”之間的連接線沒有正常連接
解決方法：
檢查計算機的供電電源插頭是否正常插入
檢查計算機的電池是否耗盡
檢查計算機和“SS-60”之間連接線的連接狀態(tài)
檢查“SS-60”設(shè)備是否被打開
檢查是否有必要的程序在執(zhí)行
檢查計算機是否中毒
2.3、通訊故障
現(xiàn)象
跳出“無法找到Active Scan設(shè)施”的錯誤提示
原因
設(shè)備和計算機的USB線連接不良
解決方法
重新連接USB線
2.4、真空故障
現(xiàn)象
抽真空過程中從設(shè)備內(nèi)部主板中傳出“BB”的連續(xù)提示音
原因
機械真空泵和“SS-60”之間的真空泵管沒有正確連接
機械真空泵故障
分子泵故障
樣品艙門沒有關(guān)閉
解決方法
檢查機械真空泵和“SS-60”之間真空泵的連接狀態(tài)
抽真空時關(guān)緊樣品艙門
更換機械真空泵內(nèi)的真空泵油
