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MILA-700AR風(fēng)冷桌面型快速退火爐

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產(chǎn)品型號(hào)MILA-700AR

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2025-07-08 13:33:00瀏覽次數(shù)：34次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MILA-700AR風(fēng)冷桌面型快速退火爐

詳細(xì)介紹

MILA-700AR風(fēng)冷桌面型快速退火爐

MILA-700AR是一款風(fēng)冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000，該設(shè)備加熱過(guò)程中不需要外接水冷，可由設(shè)備自身配置的風(fēng)冷系統(tǒng)進(jìn)行降溫。

應(yīng)用

特點(diǎn)：

1. 晶圓，復(fù)合晶圓的快速加熱

1. 50°C / s快加熱

2. 光化學(xué)氣相沉積襯底加熱

2. 可在真空，惰性氣體，流動(dòng)氣氛，空氣的氣氛下進(jìn)行加熱

3. 熱循環(huán)測(cè)試

3. 精確的溫度控制

4. 涂膜的耐熱性評(píng)估

 4. 緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)，工作無(wú)需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng)

5. 有機(jī)材料和樹(shù)脂的加熱和干燥

參數(shù)

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