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廣州科適特科學儀器有限公司
廣州科適特科學儀器有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號108auto
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地廣州市
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更新時間：2025-07-24 18:41:19瀏覽次數(shù)：11次
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全自動鍍金鍍碳聯(lián)用儀
特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜，同時又用于掃描電鏡能譜分析。
主要特性
l 通過1個真空泵相連，在既可以保證良好鍍金鍍碳效果的同時，又不會產(chǎn)生碳和金屬的任何交叉污染。
l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Pt， Au/Pd，Au，Pt/Pd（Pt靶為標配），靶材更換快速方便。
l 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
l 的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚20nm左右進行多次蒸發(fā)，無須切削或調(diào)整碳棒形狀。
l 使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。
l 使用新型的蒸發(fā)裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低，碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。
l 自動模式下，蒸發(fā)源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下，的設計允許以脈沖或連續(xù)的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。
技術(shù)參數(shù)
鍍金系統(tǒng)
樣品室大小
直徑120mm x 120mm 高
靶材
Au靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?span style="font-family:Verdana , sans-serif;">57mm x 0.1mm厚
樣品臺
可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm
可選配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺，旋轉(zhuǎn)速度：0~120rpm可調(diào)，傾斜角度：0~90°可調(diào)。旋轉(zhuǎn)樣品臺具有單獨腔體保護，可防污染。
濺射控制
微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭
低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩
模擬計量
真空： Atm - 0.001mbar
電流：0—50mA
厚度監(jiān)控
(選件)使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程
控制方法
自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停"控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣
桌上系統(tǒng)
真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
鍍碳系統(tǒng)
樣品室大小
直徑120 x 120mm 高
蒸發(fā)源
Bradley型 (6.15mm rods, [1/4"])
高強度不銹鋼結(jié)構(gòu)蒸發(fā)控制
基于微處理器的反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應，基于真空水平變量的安全互鎖功能，電流180A，提供過流保護
樣品臺
可裝置12個樣品座，高度在30mm范圍內(nèi)可調(diào)
模擬計量
真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A
控制方法
自動蒸發(fā)控制，使用程序設定的電壓和時間
以脈沖或連續(xù)方式進行手動控制
數(shù)字定時器（0－9.9s）
數(shù)字電壓設置（0.1 to 6.0V）
真空系統(tǒng)
真空泵
2級直連式高速真空泵
抽氣速率
100L/MIN
噪音
50dB
極限真空
≤1 x 10-3 Torr
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