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PI P-726重量較大物鏡掃描臺(tái)（Z軸）

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)hy000502

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地廣州市

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更新時(shí)間：2025-07-24 17:34:49瀏覽次數(shù)：19次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：267條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PI P-726重量較大物鏡掃描臺(tái)（Z軸）

詳細(xì)介紹



P-726 PIFOC大負(fù)載物鏡掃描臺(tái)（Z軸）

剛度較高，專(zhuān)用于重量較大的物鏡



性能：

重量較大的物鏡的高動(dòng)態(tài)定位、掃描

210g負(fù)載下，560Hz振動(dòng)頻率

物鏡掃描定位，亞納米精度，毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

掃描行程：100um，分辨率0.3nm

采用電容傳感器直接測(cè)量，線(xiàn)性度

無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性


參數(shù)：

尺寸：60*50.7mm

重復(fù)精度：±3nm

目鏡直徑：M-32

推拉力：100/50N

閉環(huán)行程：100um

無(wú)負(fù)載下自振頻率：1120Hz

傳感器：電容傳感器

剛度：3.4N/um

閉環(huán)分辨率：0.4nm

串?dāng)_（X,Y）:50nm

線(xiàn)性度：0.02%


應(yīng)用：

3D成像

拍攝

顯微技術(shù)

自聚焦系統(tǒng)

共聚焦顯微系統(tǒng)

表面分析

晶片光刻檢驗(yàn)


關(guān)鍵詞：傳感器

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