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紫外激光打標(biāo)機(jī)在硅晶圓中的應(yīng)用

閱讀:50發(fā)布時間:2023-9-5

  硅晶圓加工是半導(dǎo)體制造技術(shù)的重要組成部分,隨著激光加工技術(shù)的發(fā)展,紫外激光打標(biāo)機(jī)已廣泛用于硅晶圓上。關(guān)于紫外激光打標(biāo)機(jī)在硅晶圓中的應(yīng)用,下面為大家簡單介紹。

激光打標(biāo)機(jī)

  隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步,對硅晶圓的質(zhì)量提出了越來越高的要求。因此,質(zhì)量控制更加嚴(yán)格。為了促進(jìn)芯片質(zhì)量管理的可追溯性,將二維碼放在芯片表面的空白區(qū)域或芯片表面的標(biāo)簽中。表面上的二維碼與我們通常使用的激光二維碼沒有根本區(qū)別。但是加工質(zhì)量和工藝要求更加嚴(yán)格和準(zhǔn)確。通常,二維碼的尺寸小于1*1mm,字符尺寸小于0.8mm,這需要更高的激光打標(biāo)設(shè)備。

  為了滿足對硅晶圓進(jìn)行精細(xì)激光打標(biāo)的要求,我們開發(fā)了超細(xì)紫外激光打標(biāo)技術(shù),該技術(shù)專門用于對硅晶圓和硅晶圓表面進(jìn)行打標(biāo)。該技術(shù)采用攝像頭定位,線性電機(jī)控制精度高,對焦點(diǎn)小于10nm,可有效滿足加工要求,確保二維碼等級達(dá)到別,設(shè)備讀數(shù)足以達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量控制。

  希望上述的內(nèi)容可以幫助大家,有需要可以聯(lián)系我們。



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