我們的1000 W紫外大面積曝光光源包括近紫外（350 - 450 nm）、中紫外（260 - 320 nm）和深紫外（220 - 260 nm）光源。近紫外是經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)，可曝光大部分光刻膠；中紫外用于聚合物交聯(lián)以及新型光刻膠；深紫外主要用于深紫外光刻膠的研究。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13英寸到 10 x 10 英寸的樣品。

詳細(xì)介紹

我們的1000 W紫外大面積曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)，可曝光大部分光刻膠；中紫外用于聚合物交聯(lián)以及新型光刻膠；深紫外主要用于深紫外光刻膠的研究。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13英寸到 10 x 10 英寸的樣品。近紫外、中紫外和深紫外光源為HgXe燈，在工作平面上產(chǎn)生高度均勻的準(zhǔn)直光束。

特點(diǎn)：

• 高強(qiáng)度輸出

• 強(qiáng)度分布均勻的大面積準(zhǔn)直光束

• 高效帶外抑制

• 定時(shí)曝光

紫外大面積曝光光源技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	品名	燈類(lèi)型	輸出光束尺寸	波段	電源要求	工作距離
92530	近紫外大面積曝光光源	HgXe燈功率：1000W	6英寸x 6英寸	350-450nm	95-264VAC/15A, 47-63 Hz	101mm
型號(hào)	品名	燈類(lèi)型	輸出光束尺寸	波段	電源要求	工作距離
92532	中紫外大面積曝光光源	HgXe燈功率：1000W	6英寸x 6英寸	260-320nm	95-264VAC/15A, 47-63 Hz	101mm
型號(hào)	品名	燈類(lèi)型	輸出光束尺寸	波段	電源要求	工作距離
92531	深紫外大面積曝光光源	HgXe燈功率：1000W	6英寸x 6英寸	220-260nm	95-264VAC/15A, 47-63 Hz	101mm

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