^名稱

^雙通道

^三通道

^四通道

^五通道

^{質量流量控制器}

^{工作溫度：5~45ºC
大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S}

^{重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用}

^{工作溫度：5~45 ºC
大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S
重復精度:±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用}

^{工作溫度:5~45 ºC
大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.}

^{重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用}

^{工作溫度: 5~45 ºC
大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制}

^輸入電源

        ^{AC 220V/50Hz單相}

^功率

        ^23W

^PLC觸摸屏

^{·  各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上} 

^{· RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制}

^{機械壓力表}

^{·  有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接}

^{·   量程:-0.1~0.15 MPa} 

^針閥

^{316 不銹鋼}

^通氣管道

^{·  內部連接管道為Φ不銹鋼管} 

^{·  外部通氣管道為Φ聚四氟管}

^混氣罐

^Φ80X120mm

^{截止閥及配件}

^{·316不銹鋼針閥} 

 ^{Φ6mm 不銹鋼管}

^外形尺寸

 ^{600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)}

^質量認證

^CE認證

^質保期

^{一年質保期，終身維護}