低溫等離子凈化器內(nèi)部裝有的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質(zhì)，廢氣收集系統(tǒng)收集的多元素氣體經(jīng)過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場(chǎng)的作用下，電離初始態(tài)氧將其中的廢氣離子進(jìn)行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲(chǔ)塵箱內(nèi)，氣體內(nèi)的氣體被電場(chǎng)內(nèi)所產(chǎn)生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉，達(dá)到廢氣處理的目的。吸附催化凈化處理裝置是一種干式廢氣處理設(shè)備。由箱體和裝填在箱體內(nèi)的吸附單元組成，吸附單元根據(jù)廢氣處理要求添加催化劑達(dá)到進(jìn)一步去處異味氣體的目的?？刂葡到y(tǒng)主要用來控制系統(tǒng)開機(jī)、停運(yùn)，并對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行效果進(jìn)行檢測(cè)，反饋系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)和技術(shù)參數(shù)，從而使設(shè)備處于運(yùn)行狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)無人值守。

低溫等離子凈化器在廢氣處理工程中的應(yīng)用較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成。污染節(jié)制在等離子體的作用下‘產(chǎn)生活性自由基’活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向連化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鍵斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場(chǎng)的作用下被收集。等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí)，等離子體中的離子起決定性的作用。流星雨壯的離子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。